液晶ソリューション

国内外の液晶パネル製造メーカに製造・検査設備を納入しており、世界トップクラスの実績があります。
長年培ってきた技術と経験を生かした高精度なパネル製造・検査設備をお届けします。

ガラス基板検査装置 GI5400

中小型液晶、有機ＥＬパネル製造工程での異物管理に対応したガラス基板検査装置です。独自の開発により薄板ガラスの高精度表裏分離検査が可能。高信頼性による高検出感度、高速検査、高倍率異物観察を実現。パネル製造工程の異物の管理に最適です。

特長

薄板ガラス対応
ガラス厚さ 0.2mm～0.7mm
最大ガラスサイズ 1300mm×1500mm
高精度表裏分離検査
表裏分離度 150倍
（表面φ0.3µm：裏面φ50.0µm 素ガラス厚さ0.7mm）
高検出感度
表面異物 φ0.3µm
高速検査
90秒/1300mm×1500mm
（2ヘッド光学系 φ1.0µm高速モード）
TVモニタによる高倍率の異物観察が可能

大型ガラス基板露光装置 LE4000A

高スループットを実現したカラーフィルタガラス基板露光装置です。カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した量産ライン用の高速プロキシミティ露光装置で、独自に開発した高精度光学式アライメント、高速高精度プロキシミティギャップ制御を実現し、高速、高精度、高信頼性を実現しています。

特長

高処理速度
18秒/枚(露光時間を除く)
高解像度
オートアライメント、プロキシミティギャップ制御
非接触プリアライメント
対応基板サイズ
最大400mm x 500mm
インライン化対応

大型ガラス基板露光装置 LE0200SD

高スループット（ダブルチャックステージ採用）を実現したカラーフィルタガラス基板露光装置です。
カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した量産ライン用の高速プロキシミティ露光装置で、独自に開発した高精度画像認識アライメント、高速高精度プロキシミティギャップ制御を実現し、高速、高精度、高信頼性を実現しています。