10月25日よりオンラインで開催される「第41回 ナノテスティングシンポジウム」にて
下記講演・展示を行ないます。
奮ってご参加くださいますようお願い申し上げます。
2021年10月25日（月）- 27日（水）
ナノテスティング学会
オンライン開催
| 日時 | 2021年10月26日（火）9:30-10:30 |
|---|---|
| 演題 | （Tutorial II）荷電粒子線装置による半導体の物理解析 |
| 演者 | 森川晃成 日立ハイテク 解析ソリューション開発部 |
| 関連製品 | 電子顕微鏡・プローブ顕微鏡（半導体分野） |
| 日時 | 2021年10月26日（火）10:40-11:05 |
|---|---|
| 演題 | （Electron Optics & Application）欠陥形状評価SEM「CT1000」に適用した傾斜観察技術 |
| 演者 | 服部竜己(a), 家田雅常(a), 岡井信裕(b), 鈴木直正(a) (a)日立ハイテク 電子線応用システム設計部, (b)日立製作所 研究開発グループ |
| 関連製品 | 欠陥形状評価SEM CT1000 |
