【WEB開催】第6回AFM＆CSIソリューションセミナー
～高分解能3D表面計測装置AFM/CSIの活用術～
この度、高分解能3D表面計測装置の活用術をテーマに、走査型プローブ顕微鏡（AFM）＆走査型白色干渉顕微鏡（CSI）に関するセミナーを開催いたします。基調講演（以下2演題）に加え、走査電子顕微鏡（SEM）を含めた最新の相関解析情報についてご紹介いたします。
【基調講演】
「走査型プローブ顕微鏡におけるパターン形状計測技術ならびに表面性状分析技術」
大日本印刷株式会社 畠山 翔 様
「i3-operaにおけるナノ3D計測システム（白色干渉顕微鏡）VS1800の活用方法と材料評価事例の紹介」
公益財団法人福岡県産業・科学技術振興財団 小林 慎一郎 様
皆さまのご参加をお待ち申し上げております。
開催概要
日時
2024年11月6日（水）13:30～16:10（入室開始 13:15）
会場
WEBセミナー形式となります。
開催日前日に、視聴用のURLをご案内いたします。
* 本セミナーでは、Cisco Webexを使用いたします。ブラウザでのご視聴の場合、Google Chrome、Microsoft EdgeまたはFirefoxでの閲覧を推奨しております。Internet Explorerでは動画がご覧いただけませんのでご注意ください。
* ブラウザのバージョンは、いずれも最新版をご利用ください。
参加費
無料
定員
200名
* 原則として、先着順とさせていただきます。
お申込み
受付は終了いたしました。
多数のお申し込みをいただき、誠にありがとうございました。
プログラム
| 時刻（時間） | 講演内容 |
|---|---|
| 13:30～13:35 | 開会のご挨拶・操作説明 |
| 13:35～14:25 | 【基調講演】走査型プローブ顕微鏡におけるパターン形状計測技術ならびに表面性状分析技術 AFMで高精度なパターン形状計測を行うためには、スキャン技術とプローブ選択が重要な要素となる。本講演では、スキャン技術として、SISモードの有効性を解説するとともに、特徴的なプローブの紹介、さらには、これらの要素を活用したアプリケーション事例の紹介を行う。併せて、AFMによる基本的な表面状態分析の手法について、概要と評価例を紹介する。 大日本印刷株式会社 ファインデバイス事業部 畠山 翔様 |
| 14:25～14:45 | 複合材料におけるAFM局所物性の多角的解析と前処理の最適化 電池材料をはじめとする電気物性や機械物性が異なる材料から構成された複合材料の多角的解析のニーズが高まっています。新製品AFM5500MⅡでは従来から定評のある自動測定・自動解析機能に加え、SEMやCSIとの相関解析を容易に実現するためのリンケージ機能が充実しました。また、物性データの解釈も複雑化する中で、理想的な表面を得るための前処理技術の最適化も併せて求められています。本講演では、先端材料の多角的な物性測定事例や前処理の最適化ノウハウを中心にご紹介します。 株式会社日立ハイテク |
| 14:45～14:55 | 休憩 |
| 14:55～15:45 | 【基調講演】i3-operaにおけるナノ3D計測システム（白色干渉顕微鏡）VS1800の活用方法と材料評価事例の紹介 i3-operaは有機デバイス関連の受託評価を行っている機関であるが、VS1800や簡易AFMを用いて半導体や光学部品、微粒子など様々な材料表面の観察・構造評価の受託サービスも行っている。講演では最近i3-operaで実施した案件のトレンドや傾向を紹介し、ユーザーとしてVS1800を活用する上で理解しておくべき計測原理や特徴、正しい観察結果を得るための工夫点や解析方法などについて実際の観察事例を示しながら紹介する。 公益財団法人福岡県産業・科学技術振興財団 小林 慎一郎 様 |
| 15:45-16:05 | ナノ3D光干渉計測システムVS1800の自動化機能と3つの顕微鏡（CSI/SEM/AFM）を用いた相関解析アプリケーション ナノ3D光干渉計測システム（CSI）VS1800は、初心者の方でも安心してご使用いただける様々な自動化機能を搭載しています。本講演では干渉対物レンズ自動調整機能をはじめとした優れた自動化機能のご紹介に加えて、日立ハイテクが提供する三つの顕微鏡（CSI/SEM/AFM）を用いた同一箇所測定による相関解析を活用した最新アプリケーションについてお話いたします。 株式会社日立ハイテク |
| 16:05-16:10 | 閉会のご挨拶・ご案内 |
* プログラムは予告なく変更になる場合があります。あらかじめご了承ください。
お問い合せ
株式会社 日立ハイテク
コアテクノロジー＆ソリューション事業統括本部 グローバル営業企画部
担当 伊藤
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