グロー放電質量分析装置（GD-MS）
グロー放電質量分析装置（GD-MS）は、金属、合金、半導体材料中の不純物の検出などに用いられてます。
グロー放電は、低圧ガスに電流が流れることによって形成されるプラズマです。アノード（セル）とカソード（サンプル）の2つの金属電極間に電圧が印加され、電圧が特定の値を超えると、セル内のガスが電離してプラズマになります。イオン化ガス原子は、カソードに向かい、サンプルから材料をスパッタします。続いてイオン化され、質量分析計で測定されます。
グロー放電質量分析装置（GD-MS）は、金属、合金、半導体材料中の不純物の検出などに用いられてます。
グロー放電は、低圧ガスに電流が流れることによって形成されるプラズマです。アノード（セル）とカソード（サンプル）の2つの金属電極間に電圧が印加され、電圧が特定の値を超えると、セル内のガスが電離してプラズマになります。イオン化ガス原子は、カソードに向かい、サンプルから材料をスパッタします。続いてイオン化され、質量分析計で測定されます。