電子顕微鏡（SEM/TEM/STEM）
光より波長の短い電子線を用いることで、光学顕微鏡では観察できない微細な構造を観察でき、金属・セラミックス・半導体などの無機材料から、高分子・生物組織まで、幅広い分野で利用されています。
試料表面に電子線をあてた際に発生する電子を利用して、表面構造を観察する走査電子顕微鏡(SEM)と、薄い試料を透過させた電子線を検出することで内部構造を観察する透過電子顕微鏡(TEM)・走査透過電子顕微鏡(STEM)に大別されます。
電界放出形走査電子顕微鏡
（FE-SEM）
輝度の高い電界放出形の電子銃を搭載することで、熱電子銃を用いる汎用SEMに比べて電子線を細く絞ることができ、より高い分解能が得られます。また、低加速電圧でも鮮明な像が得られるため、試料最表面の微細構造観察にも適しています。対象試料・解析目的に応じて、電子銃・レンズタイプを選択できます。
走査電子顕微鏡（SEM）
熱電子銃(タングステンフィラメント)を搭載しており、比較的大きな試料まで観察することができます。また、低真空モードを利用することで、非導電性試料の無蒸着観察やガスが出やすい試料、少量の水分・油分を含む試料の観察にも対応できます。試料サイズ・解析目的に応じて、コンパクトモデルから大型試料室対応機まで幅広いラインナップを用意しています。
Miniscope®（卓上顕微鏡）
光学顕微鏡並みの手軽さで、誰もがより身近にミクロの世界を体験できる、卓上電子顕微鏡です。低真空観察に対応することで、導電性の無い試料でも前処理無しに、迅速に観察が行えます。
透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
TEM/STEMでは、対象試料に応じて、適切な加速電圧の装置が用いられます。金属・セラミックスなどの無機材料には、透過能・分解能で有利な300kV/200kVの装置が、高分子・生物組織には高いコントラストが得られる120KVの装置が利用されています。また、ナノエリア解析など、より高い分析能力が求められる場合には、電界放出形電子銃や球面収差補正器が威力を発揮します。
ナノ・プローバ®
半導体デバイスの電気特性評価・電子ビーム吸収電流(EBAC)解析に最適化されたされた、SEM式プロービングシステムです。高輝度電界放出形電子銃を用いた高分解能SEM観察により、直感的で高精度な探針操作を実現しています。
AMICSソフトウェア（MLA）
AMICS (The Advanced Mineral Identification and Characterization Syste) は、SEMベースの自動鉱物単体分離システムです。AMICSソフトウエアをSEM・EDXに組み合わせることで、鉱石中に含まれる鉱物成分をサブグレインレベルまで精密に分離・定量することが可能となり、Mineral Liberation Analyzer(MLA)として運用できます。
関連情報
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