ナノ・プローバ®
微小デバイス特性評価装置のラインアップをご紹介します。
製品一覧
微小デバイス特性評価装置 ナノ・プローバ® NP8000
5 nm以降のデバイス解析に対応した、SEMベースのナノ・プロービング専用機です。
試料ダメージ低減を考慮した電子光学系とEBAC機能の強化により不良解析能力をさらに向上させています。
関連情報
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