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日立ハイテク
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ソリューションサービス

電子顕微鏡のソリューションサービスをご紹介いたします。

Hitachi map 3D

Hitachi map 3D

4分割反射電子検出器を使用することで試料の傾斜等を行うことなく、3次元像を構築、高さ、粗さを測定できます。

TS/CSホルダ

TS/CSホルダ

「ウェーハサンプルの固定が容易なホルダが欲しい」、「ウェーハサンプルの接着媒体からのアウトガスによるコンタミネーションの発生を抑えたい」などのご要望にお応えするため、扱いやすく機械的にウェーハサンプルを固定できるホルダをご用意いたしました。 これにより、ウェーハサンプルをホルダにセットする際の作業効率向上が図れます。

画面共有システム「ExTOPE EM」

画面共有システム「ExTOPE EM」

お客様の装置情報をお客様内の拠点間で画面共有することが可能に。分析・解析の効率化をサポートします。