多機能プローブ顕微鏡システム
![トータルスループットと頼性、SEM(走査電子顕鏡)との親和性の向上をたした最新の多機能プロブ顕微鏡システムAFM1 AFM100Plus](/jp/ja/media/afm100_2107_01_png_tcm26-87843.png)
![多機能プローブ顕微鏡シテムAFM100,はカンチレバー交換やパラメータ設レバー先端径の太さ管理連続測定、ドリフト問題どのAFMの悩みを整理解決。さらに最先端の機を搭載。](/jp/ja/media/afm100_2107_02_png_tcm26-87844.png)
多機能プローブ顕微鏡システム AFM100 Plus/AFM100
「従来のAFM操作の煩雑さ」からの解放
AFM100 Plus /AFM100システムは、 研究開発現場、生産現場、教育現場など様々な 場面でのAFM装置の普及を目的に、 操作性と信頼性、スループットの向上を 追求し開発された小型高分解能ユニットです。
特長
![トータルスループットと信頼性、SEM(走査電子顕微鏡)との親和性の向上を果たした最新の多機能プローブ顕微鏡システムAFM100, AFM100Plus](/jp/ja/media/afm100_2107_03_png_tcm26-87845.png)
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プリマウント方式のカンチレバーを採用(選択制)
掴みやすい構造設計で装着ミスとストレス軽減による操作性向上 -
探針評価機能
探針径の管理を実現により、データの信頼性向上 -
オートパイロット自動測定機能
ワンクリック測定でスループットを向上 -
低ドリフト設計
ドリフト量 0.03 nm/sec以下を実現することで、データ信頼性向上 -
AFMマーキング機能
SÆMic.(SEM-AFM相関解析)による多角的な解析能力に貢献 -
セルフチェック機能
日常使いの保守性の向上
スループットの向上
プリマウント方式による確実なワンタッチ交換(操作性と信頼性向上)(選択オプション)
![往来のカンチレバーセットの問題点を克服し、プリマウント方式による確実なワンタッチ交換を採用して操作性と信頼性の向上を果たしたプリマウント方式カンチレバー](/jp/ja/media/afm100_2107_04_png_tcm26-87846.png)
オートパイロット自動測定機能によるワンクリック測定解析(スループット向上)
![オートパイロット自動測定機能によるワンクリック測定解析(スループット向上)](/jp/ja/media/afm100_2107_05_png_tcm26-87847.png)
AFMマーキング機能
AFMマーキング機能によるAFMと同一視野のSEM-EDS評価(追加オプション)
小型汎用AFMによるSEMとの同一箇所評価のための支援ツール
- ナビゲーションソフトによる自動AFMマーキング機能
![AFMマーキング機能によるAFMと同一視野のSEM-EDX評価(追加オプション)](/jp/ja/media/afm100_2107_06_png_tcm26-87848.png)
![AFMマーキング機能によるAFMと同一視野のSEM-EDX評価(追加オプション)](/jp/ja/media/afm100_2107_07_png_tcm26-87849.png)
日立3Dソリューション
![日立3Dソリューションは3D計測に加えて層断面CSI、物性分布AFM、元素分析SEMのデータを分析に役立てることができます。](/jp/ja/media/afm100_2107_08_png_tcm26-87850.png)