オプション

走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）関連 オプション

試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性／機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。

走査型白色干渉顕微鏡関連 オプション

白色光源から照射された光を2つに分け、一方をサンプル表面に照射し、双方から反射された光を結像します。 試料凹凸によって生じる干渉縞を高さ情報に変換し、3次元形状を画像表示する装置です。