電子顕微鏡周辺装置

エネルギー分散型X線分析装置(EDX)を電子顕微鏡に組み合わせることで、試料の組成や元素分布の分析が可能です。電子エネルギー損失分光装置(EELS)は、TEM/STEMと組み合わせて、軽元素や遷移元素の分析や化学状態評価に利用されます。

イオンミリング装置を用いると、FIBでは困難な広領域の試料断面を作製することができます。
イオンスパッタは非導電性試料に導電性を付加し、電子顕微鏡観察時の帯電現象(チャージアップ)による像障害を防止します。
サンプルクリーナーは、UV光照射により試料表面に付着したハイドロカーボンを除去し、試料本来の構造の観察に寄与します。
その他、試料の切断、研磨、超薄切片作製のための装置をご紹介します。

TEMのデジタル化を実現するCCDカメラや、装置安定稼動のためのイオンポンプバックアップ電源・冷却水管理ユニットなどのソリューションをご紹介します。

真空中での水分蒸発による形態の収縮・変形を防ぎ、含水試料の電子顕微鏡観察を実現します。導電性付与にも優れているため、チャージアップの低減・絶縁物の観察にも有効です。

試料研磨装置用研磨剤やラッピングフィルム、ウルトラミクロトーム用ダイヤモンドナイフなど消耗品をご紹介します。