メンテナンスサービス
![半導体評価装置 予防保全対応](/jp/ja/media/semi-met_mainte_main_jpg_tcm26-29419.jpg)
半導体評価装置 予防保全対応
電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。
![半導体評価装置 オーバーホール対応](/jp/ja/media/semi-met_overhaul_main_jpg_tcm26-26729.jpg)
半導体評価装置 オーバーホール対応
HVコントロールユニット、DC電源、電子銃アノード、ターボ分子ポンプユニット、回転アームユニット、搬送ロボットユニットなど、豊富なオーバーホールメニューを各種準備しています。
電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。
HVコントロールユニット、DC電源、電子銃アノード、ターボ分子ポンプユニット、回転アームユニット、搬送ロボットユニットなど、豊富なオーバーホールメニューを各種準備しています。