周辺装置
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ペデスタル (Pedestal)
ペデスタルは、半導体製造装置の露光装置・計測装置・検査装置等の嫌振架台(除振架台)です。設置することで、振動の抑制と剛性の強化が可能になります。
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電源トランス(Power supply transformer)
電源トランスは供給電圧を負荷機器の要求電圧に変換する装置です。また、高調波ノイズ等が伝わるのを防止して負荷機器の異常動作防止や絶縁保護をする役割もあります。
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チラー(Chiller)
チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器等に用いられます。