走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。
顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。
卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。

価格：お問い合わせください。

取扱会社：株式会社日立ハイテク

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特長仕様製品導入事例

特長

1．高垂直分解能・精度・計測スピードに最も優れた非接触表面形状計測

走査型白色干渉顕微鏡は、高さ分解能0.01 nmであり、表面形状計測装置の中でも高分解能を誇るAFMと同等であると同時に、対物レンズの倍率に依存せずに高い垂直分解能を実現するため、広い領域におけるナノオーダーの粗さ、段差の計測が可能です。また、XY方向の走査が不要なため、測定時間も数秒と高速計測を実現しています。

2．非接触・非破壊　膜厚計測機能（層断面解析）

透明積層体サンプルにおいて、断面を形成する手間をかけずに、非破壊で断面の情報を得ることが可能になります。各界面から得られた干渉光とレンズの高さ位置の関係から各界面の深さ情報を得ることで、各層の膜厚を計測でき、多層構造を画像化することができます。一般に層内部の光学界面での干渉信号は表面に比べ非常に弱いですが、VS1000シリーズでは微弱な干渉信号を独自の処理方法によって検出しているため、屈折率差の小さい積層フィルムの膜厚や、接着層の厚みムラといった計測を実現しています。

3．ISO　国際標準準拠の表面粗さ測定

VS1000シリーズは、表面粗さの評価方法を定めた国際規格であるISO25178表面性状(面粗さ測定)に準拠しています。 JIS B0671-1／ ISO13565-1(線粗さ測定)が触針式粗さ計での評価を前提とした規格であったのに対し、ISO25178 表面性状は「非接触式」と「接触式」の2つの評価方法に対応した規格です。「測定箇所による結果のバラツキ」、「走査方向に依存する結果のバラツキ」という線粗さ測定特有の問題が生じない評価方法とされています。 VS1000シリーズは、線から面への評価手法の展開をサポートします。

4．微分干渉像観察機能

通常の光学顕微鏡観察では確認が困難である微細形状を広い視野から探すことが可能になります。

5．層面解析

表面や内部界面での形状および界面間の厚みデータを算出します。
スポットとしてではなく面全体での膜厚ムラの把握が可能になります。

仕様

装置仕様
		VS1330
レボルバ		マニュアル駆動
鏡筒	選択	0.5×　1.0×
ズームレンズ	追加オプション	0.7×　2.5×　変倍モジュール（1.0×　1.25×　1.5×　2.0×）
対物レンズ	選択	5× 10× 20× 50× 110×
測定用カメラ	選択	1/3 inch　高画素
測定画素数		最大1024×1024画素
Z軸方向駆動方式		Piezo
測定レンジ（Wave/Focusモード）	Piezo	80µm
校正用サンプル	追加オプション	標準段差（VLSI Standards, Inc.）

測定領域仕様（単位：µm）
装置		VS1330
カメラ		1/3 inch		高画素
鏡筒（ズームレンズ）		1×	0.5×	1×	0.5×	0.5×（0.7×）
鏡筒（ズームレンズ）	5×	947×710	1894×1420	1126×1126	2252×2252	3218×3218
	10×	473×355	947×710	563×563	1126×1126	-
	20×	236×177	473×355	281×281	563×563	-
	50×	94×71	189×142	112×112	225×225	-
	110×	43×32	86×64	51×51	102×102	-

二光束干渉対物レンズ
		5×	10×	20×	50×	110×
マイケルソン型ミラウ型	開口数 NA	0.13	0.3	0.4	0.55	0.8
	光学的分解能（µm）	2.11	0.91	0.69	0.5	0.34
	作動距離 WD（mm）	9.3	7.4	4.7	3.4	0.7
	焦点深度（µm）	16.2	3.03	1.71	0.9	0.43

製品導入事例

層断面の受託測定という全国唯一のサービスを支える日立CSI（走査型白色干渉顕微鏡）

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