高分辨热场发射扫描电镜
SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus

SE系列集高性能与通用性于一身

SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力，而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。

* 所示仪器图片带有选配项。

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特点应用案例规格

特点

热场SEM支持低真空，搭载超大样品仓，可扩展实现更多功能

电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓，对于非导电性样品，无需进行导电处理（金属镀膜）；对于超大超重样品，无需进行切割等破环处理，可以直接安装到样品台，实现样品的多角度观察。

观察肉眼看不到的细节，更高分辨率、极表面观察

此系列搭载新开发的热场电子枪，无论是在高加速电压还是低加速电压区域，均可获得超高分辨率图像。
高端型号（SE Plus）可以满足对样品极表面的观察需求。
标配低电压高灵敏度背散射电子探测器，可切换采集信号获得成分和凹凸信息。
与选配的UVD探测器组合使用，可以获得样品多种类型信息，实现多种模式观察。

自动化、辅助功能让操作更便捷

SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能，可大量简化操作流程。
此外，使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。
将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。

①确定指定区域，以×300倍率拍摄低倍图像
②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像
③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像

应用案例

铁丝断面
可以确认韧性断裂引起的微小孔洞。

SUS316
可以看到位错结构产生的线状衬度。

电路板
通过低倍率、高倾斜观察，可以确认贴装元件的立体形状及位置。

多层陶瓷电容器横截面
可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度。

氧化锌颗粒
可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状。

高熵硬质合金薄膜
可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布。

锂离子电池正极材料
可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布。

锂离子电池负极材料
可以观察到负极材料最表面的粘合剂。

规格

项目		SU3900SE/SE Plus	SU3800SE/SE Plus
电子光学系统	二次电子分辨率	0.9 nm@30 kV
		2.5 nm@1 kV
		1.6 nm@1 kV(^*1)
	放大倍率	5～600,000×
	电子枪	ZrO热场发射(肖特基热场发射)
	加速电压	0.5 kV～30 kV
	着陆电压(^*1)	0.1 kV～2 kV
	束流	最大150 nA
真空系统	低真空模式	6～150 Pa
探测器	标配探测器	二次电子探测器(SED)
		顶探测器(TD) (^*2)
		5分割背散射电子探测器(BSED)
	选配探测器	高灵敏度低真空探测器(UVD)
马达台	马达台驱动方式	5轴优中心马达台
	移动范围
	X	0～150 mm	0～100 mm
	Y	0～150 mm	0～50 mm
	Z	3～85 mm	3～65 mm
	T	-20～90°
	R	360°
样品仓	样品尺寸	最大直径300 mm	最大直径200 mm