| 1965年 |
- 日製産業株式会社（現 株式会社日立ハイテク）から資本金1,000万円をもって、日立計測器全般のサービス業務を行う日立計測器サービス株式会社として、分離独立
- 本店所在地 東京都千代田区
- 計装工事業務を開始
- 製品の据付、試運転、定期検査業務を開始
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| 1970年 |
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| 1971年 |
- 資本金を3,000万円に増資
- 医用自動分析装置のサービス業務を開始
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| 1972年 |
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| 1974年 |
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| 1976年 |
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| 1979年 |
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| 1980年 |
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| 1984年 |
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| 1985年 |
- 資本金を2億4,000万円に増資
- 情報機器システムのサービス業務を開始
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| 1987年 |
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| 1991年 |
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| 1995年 |
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| 1998年 |
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| 2000年 |
- 本店所在地を東京都新宿区に移転
- 亞太日立計測器服務股份有限公司を設立
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| 2001年 |
- HISCO Europe GmbHを設立
- ISO9001:2000認証移行取得
- エッチング装置関連業務の移管を受ける
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| 2002年 |
- 資本金を10億円に増資
- 日速科計測器（上海）有限公司を設立
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| 2004年 |
- 半導体異物・外観検査装置サービス業務の移管を受ける
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| 2005年 |
- 情報・映像関連商品の販売およびアフターサービス業務を株式会社日立ハイテクソリューションズへ移管
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| 2006年 |
- 海外現地法人4社（Korea HISCO Ltd.、亞太日立計測器服務股份有限公司、HISCO Europe GmbH、日速科計測器（上海）有限公司)を、株式会社日立ハイテクノロジーズ（現 株式会社日立ハイテク）海外現地法人へ統合
- 商号を株式会社日立ハイテクフィールディングに変更
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| 2010年 |
- 電話応対窓口を本社「お客様サポートセンタ」に一元化
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| 2015年 |
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| 2020年 |
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| 2021年 |
- FIB-SEM複合装置、プローブ顕微鏡サービス業務の移管を受ける
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| 2024年 |
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