六フッ化硫黄（SF6）ガスの回収・分解処理サービス
お客様のSDGs達成に向けた取り組みを支援します
回収対象装置：加速電圧200、300kVの日立透過電子顕微鏡
概要
透過電子顕微鏡の電子銃部で高電圧絶縁用に使用されている六フッ化硫黄（以下SF6ガス）は、優れた電気絶縁性能を有します。一方で、SF6ガスは地球温暖化の原因となる温室効果ガスの一つに指定されており、CO2ガスの約23,500倍相当の温室効果を持つとされています。回収を行うことで温室効果ガスの大気放出がないため、お客様がSDGs（No.13気候変動に具体的な施策を）に貢献できるよう、当社では電子銃メンテナンス時や装置廃棄時に発生する使用済みのSF6ガスを回収し、分解リサイクル処理*1を行っています。
*1 回収したSF6ガスは提携業者にて分解し、フッ素製品の原料に戻す処理を行うことで、循環型のリサイクル環境構築に取り組んでいます。
SF6ガスとは
無毒、無臭、無色の熱的、化学的に安定した気体で耐熱性、不燃性、非腐食性および高い電気絶縁性がある。
密度：6.164g/L（常温（25℃）、常圧（100kPa）
比重：5.106（空気を1とした場合）
*2
各温室効果ガスが地球温暖化にもたらす効果の程度を、二酸化炭素の当該効果に対する比で表したもの
(GWP : Global Warming Potential)
出典先：第3回 産業構造審議会 製造産業分科会 化学物質政策小委員会 フロン類等対策ワーキンググループ
「参考資料3 主な温室効果ガスの地球温暖化係数について」経済産業省ホームページ https://www.meti.go.jp/
技術的特長
- 従来、FEチップ交換のたびに、100リットルのSF6ガス（CO2換算：14.05t）を大気放出していましたが本回収装置により、その99％が回収可能になります。
- 当社技術者による一貫した作業の中で、安全に回収することができます。
概念図
温室効果ガスによる地球温暖化メカニズム
出典先：栃木県Webサイト 地球環境の保全に貢献する社会づくり
http://www.pref.tochigi.lg.jp/kankyoseisaku/home/keikaku/archive/hakusyo/h15gaiyou/31.html
主な温室効果ガス
| 温室効果ガス | 地球温暖化係数*3 | 性質 | 用途、排出源 |
|---|---|---|---|
| 二酸化炭素（CO2） | 1 | 代表的な温室効果ガス | 化石燃料の燃焼など。 |
| メタン（CH4） | 28 | 天然ガスの主成分で、常温で気体。よく燃える。 | 稲作、家畜の腸内発酵、廃棄物の埋め立てなど。 |
| 一酸化二窒素（N2O） | 265 | 数ある窒素酸化物の中で最も安定した物質。他の窒素酸化物（例えば二酸化窒素）などのような害はない。 | 燃料の燃焼、工業プロセスなど。 |
| HFCS（ハイドロフルオロカーボン類） | 1,300など | 塩素がなく、オゾン層を破壊しないフロン。強力な温室効果ガス。 | スプレー、エアコンや冷蔵庫などの冷媒、化学物質の製造プロセスなど。 |
| PFCs（パーフルオロカーボン類） | 6,630など | 炭素とフッ素だけからなるフロン。強力な温室効果ガス。 | 半導体の製造プロセスなど。 |
| SF6（六フッ化硫黄） | 23,500 | 硫黄の六フッ化物。強力な温室効果ガス。 | 電気の絶縁体など。 |
| NF3（三フッ化窒素） | 16,100 | 窒素とフッ素だけからなる無機化合物。強力な温室効果ガス。 | 半導体の製造プロセスなど。 |
出典先：JCCCA."温室効果ガスの特徴"全国地球温暖化防止活動推進センターWebサイト
https://www.jccca.org/download/13266
*3 気候変動に関する政府間パネル(IPCC) 第5次報告書における主な温室効果ガスの温暖化係数
出典先：IPCC第5次報告書
https://www.meti.go.jp/shingikai/sankoshin/seizo_sangyo/kagaku_busshitsu/flon_taisaku/pdf/003_s03_00.pdf