1969年、日立はFE電子源の技術開発に着手。それからわずか3年でFE技術を実用化して、FE-SEM*1の開発に成功。以来、40年以上にわたり日立のFE技術は、高分解能なSEMやTEM*2に採用され、生物、材料、半導体などの幅広い分野で世界の科学や医学、産業の発展に大きく貢献してきたのです。
「見えないものが見える」をキャッチフレーズに、信頼性と操作性で世界中のお客さまから愛用されてきた日立のFE-SEM。いまではFE-SEMといえば「日立」というほど世界中で認められています。その実績は、IEEEマイルストーン認定という形でここに結実。まさにFE電子顕微鏡なら、世界を変える答えが見えるといっても過言ではありません。
*1 FE-SEM:Field Emission-Scanning Electron
Microscope(電界放出形走査電子顕微鏡)
*2 TEM:Transmission Electron Microscope(透過電子顕微鏡)