半導体の部屋
半導体の製造
私たちは、さまざまな電化製品に囲まれて暮らしています。ここでは、電化製品などに欠かせない半導体の製造工程の装置や技術について解説いたします。
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- 半導体製造工程
- ウェーハ処理を行う前工程を中心に、図をまじえて説明します。
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- 半導体の計測と検査
- 半導体製造における重要な工程、計測・検査についてご紹介します。
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- 正確度と精度
- 計測に求められる精度と正確度について、詳しく解説します。
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- CD-SEM（測長SEM）とは
- 半導体の製造ラインで使用される測長SEM（CD-SEM）について、その特長や原理をご紹介します。
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- ウェーハ欠陥検査装置とは
- ウェーハの欠陥を検出し場所を特定する、検査装置の原理を解説します。
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- レビューSEMとは
- 走査型電子顕微鏡（SEM）の応用装置、レビューSEMの機能をご紹介します。
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- エッチング装置とは
- ウェット／ドライエッチングの特長や、エッチング装置の各種プラズマ方式についてご紹介します。
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