電子スキャン方式高速超音波映像装置　ES5100

電子スキャン（=フェーズドアレイ方式）で最大周波数75MHzを実現した超音波映像装置です。

取扱会社：株式会社日立ハイテク

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特長システム構成と主な仕様

高速測定

電子スキャンアレイプローブの採用により、高速測定を実現。評価・解析作業の効率が飛躍的に向上します。
例）30mm角のICパッケージを0.1mmピッチで探傷した場合、約4秒で終了します。

インライン全数検査への適用

圧倒的な高速性により、これまで困難であった量産時の全数検査が可能になりました。
ローダー、アンローダーといったハンドリンク機構を構築することで、インラインでの導入も可能です。
また、検査体を個別ID化して探傷データを収録・保存することで、不合格品（NG品）の傾向、生産ロットごとの割合、その他統計処理により解析・評価方法が広がり、品質改善を支援します。