電子源
Applied Physics Technologies, Inc.では、主に 分析・検査向け装置や金属3Dプリンター向けに使用される電子源を製造しています。
主な製品
CeBix®
| 材料 | 六ホウ化セリウム（CeB6） |
|---|---|
| 特長 | 長寿命、高輝度、耐汚染性(LaB6比較) |
| 用途 | 走査電子顕微鏡（SEM）、透過電子顕微鏡（TEM）、電子線マイクロアナライザ（EPMA）表面分析装置、金属3Dプリンター、マイクロフォーカスX線源、リソグラフィー装置等 |
LaB6
| 材料 | 六ホウ化ランタン（LaB6） |
|---|---|
| 特長 | 長寿命、高輝度、（タングステンフィラメント比較） |
| 用途 | 走査電子顕微鏡（SEM）、透過電子顕微鏡（TEM）、電子線マイクロアナライザ（EPMA）表面分析装置、金属3Dプリンター、マイクロフォーカスX線源、リソグラフィー装置等 |
REFRACTORY METAL SINGLE CRYSTALS（高融点金属単結晶）
| 材料 | W、Ta、Mo、Re、Ir、Ta、Hc、Pt、Ni 等
 |
|---|---|
| 特長 | 自社装置を使用したゾーンリファイニング製法により 高純度で高品質な単結晶を製造 |
| 用途 | 走査電子顕微鏡（SEM）、透過電子顕微鏡（TEM）、半導体分析装置、X線管、EPMA、電子線描画装置 等 |
TRANSITION METAL CARBIDE CATHODES（遷移金属炭化物電子源）
| 材料 | HfC、ZrC、TiC、NbC 等
 |
|---|---|
| 特長 | 高融点、高硬度、高い耐久性、低い蒸発率（長寿命） 低真空環境下でも高性能を発揮 |
| 用途 | 既存熱電子源の高性能化、研究用材料、様々な電子源アプリケーション 等 |
電子源の種類
| 比較項目 | 熱電子源(W) | 熱電子源(LaB6/CeBix®) | ショットキー(SE)電子源 | 電界放出(FE)電子源 |
|---|---|---|---|---|
| 電子線放出方法 | Wヘアピンフィラメントを加熱 | 細径単結晶を加熱 | 針状金属の加熱と高電圧印加（ショットキー効果を利用） | 針状金属に高電圧印加（トンネル効果を利用） |
| 輝度 | △ | 〇 | ◎ | ◎+ |
| 単色性 | ✕ | △ | 〇 | ◎ |
| 分解能 | △ | 〇 | ◎ | ◎+ |
| 電流量 | 〇 | ◎ | ◎ | △ |
| 安定性 | ◎ | 〇 | ◎ | △ |
| 寿命 | △ | 〇 | ◎ | 〇 |
| コスト | ◎ | ○ | △ | ○ |
| 取扱性 | ◎ | 〇 | 〇 | △ |
