電子顕微鏡周辺装置

エネルギー分散型X線分析装置(EDX)を電子顕微鏡に組み合わせることで、試料の組成や元素分布の分析が可能です。電子エネルギー損失分光装置(EELS)は、TEM/STEMと組み合わせて、軽元素や遷移元素の分析や化学状態評価に利用されます。

イオンミリング装置を用いると、FIBでは困難な広領域の試料断面を作製することができます。
イオンスパッタは非導電性試料に導電性を付加し、電子顕微鏡観察時の帯電現象(チャージアップ)による像障害を防止します。
サンプルクリーナーは、UV光照射により試料表面に付着したハイドロカーボンを除去し、試料本来の構造の観察に寄与します。
その他、試料の切断、研磨、超薄切片作製のための装置をご紹介します。

装置安定稼動のためのイオンポンプバックアップ電源・冷却水管理ユニットなどのソリューションをご紹介します。

真空中での水分蒸発による形態の収縮・変形を防ぎ、含水試料の電子顕微鏡観察を実現します。導電性付与にも優れているため、チャージアップの低減・絶縁物の観察にも有効です。

フィルム使用に伴う現像作業および廃液の削減、デジタル化による業務の効率向上を図ることができます。 高速、高感度、高精細を発揮するsCMOS 撮像素子を搭載したAMT 社製のデジタルカメラです。500 万画素（NanoSprint500）および1200 万画素（NanoSprint1200）のそれぞれの仕様において、毎秒30フレーム以上のレートで出力可能です。電子線回析画像も広範囲に取り込めます。

TM4000Ⅱで加速電圧20 kV対応を実現しました。さらにMulti Zigzag(連続視野取込機能：オプション)により広範囲のSEM観察が可能になっています。さらに広がる観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。