その他の電子顕微鏡周辺装置
各種の電子顕微鏡周辺装置をご紹介します。
TS／CSホルダ
「ウェーハサンプルの固定が容易なホルダが欲しい」、「ウェーハサンプルの接着媒体からのアウトガスによるコンタミネーションの発生を抑えたい」などのご要望にお応えするため、扱いやすく機械的にウェーハサンプルを固定できるホルダをご用意いたしました。 これにより、ウェーハサンプルをホルダにセットする際の作業効率向上が図れます。
イオンポンプ バックアップ電源
停電および電源休止時にFE電子銃の真空排気を自動で継続します。 真空排気停止後に必要な電子銃のコンディショニングを不要とし、常に安定した動作状態を保つことができます*。 停電時の電源切換えは自動で行います。コネクタ等の接続変更などの特別な操作は不要です。
関連情報
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