測定部（ユニット）
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）のユニット（測定部）のラインアップをご紹介します。
多機能プローブ顕微鏡システム AFM100シリーズ
AFM100シリーズは、研究開発現場、生産現場、教育現場向けに「スループットの向上を追求」したAFM100 Plus/AFM100と、「検出感度の向上を追求」したAFM100 Proからなる小型高分解能ユニットの3機種です。
環境制御型ユニット AFM5300E
真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型AFMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。
中型プローブ顕微鏡システム AFM5500MⅡ
AFM5500MⅡ単独での高精度測定に加え、SEMやCSIといった他の顕微鏡とのリンケージ機能により単独ではできない精度の高い故障解析や欠陥評価を実現します。
関連情報
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