検査ソリューション

検査ソリューションのラインアップをご紹介いたします。

レビューSEM

レビューSEMのラインアップをご紹介いたします。

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

高感度検出と高スループット検査による高速製品モニタリングを実現。歩留まり向上と生産コスト削減に貢献する次世代対応暗視野式ウェーハ欠陥検査装置です。

G&Cデバイスの製造工程中のパターンサンプル上に発生する欠陥検出と管理に貢献

ミラー電子式検査装置
Mirelis VM1000は、SiCバルクウェーハの加工ダメージ、エピタキシャルウェーハの積層欠陥や基底面転位といった結晶欠陥を非破壊で検査します。