検査ソリューション
検査ソリューションのラインアップをご紹介いたします。
![レビューSEM](/jp/ja/media/semi-cr7300_main_png_tcm26-30752.png)
![日立ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ](/jp/ja/media/semi-ls_main_jpg_tcm26-29906.jpg)
![暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600](/jp/ja/media/semi-is_main_tcm26-29904.png)
![日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI2800](/jp/ja/media/semi-di2800_main_png_tcm26-29896.png)
![ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000](/jp/ja/media/semi-mirelis_vm1000_main_jpg_tcm26-29902.jpg)
ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000
ミラー電子式検査装置
Mirelis VM1000は、SiCバルクウェーハの加工ダメージ、エピタキシャルウェーハの積層欠陥や基底面転位といった結晶欠陥を非破壊で検査します。
検査ソリューションのラインアップをご紹介いたします。
ミラー電子式検査装置
Mirelis VM1000は、SiCバルクウェーハの加工ダメージ、エピタキシャルウェーハの積層欠陥や基底面転位といった結晶欠陥を非破壊で検査します。