暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600
特長
量産運用に適した高いスループットと検出感度の両立
- 暗視野式検査装置の特徴を活かした半導体製造ラインの状態管理が可能
高い装置間マッチング性能
- 複数台の運用に適した独自技術の光学系を採用
簡便な操作性
- シンプルなパラメータ設定によるレシピ作成
仕様
| ウェーハサイズ | φ300 mm専用 |
|---|
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