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ディフェクトレビューSEM CR7300 Series

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高速ADR、高精度ADCにより歩留まり改善に貢献するインライン対応レビューSEM

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特長

  • 最先端デバイス開発、量産に対応したSEM分解能
  • 電気特性（R / C）を半導体プロセスの途中で指標化することが可能
  • 自社比2倍の高スループット
  • 3nm世代に対応したパターン無しウェーハ上の欠陥レビューと分析が可能
  • AI-ADC（自動欠陥分類）搭載により欠陥分類精度向上

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