ターミナルPCソフトウェア
測長SEMの稼動率向上を支援するソフトウェアです。
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
特長
- 測長/画像ファイルをネットワーク経由でPCに転送、オフラインでの解析や再測長が可能です。
- 測長SEMの有効活用、稼動率向上に貢献します。
主な機能およびソフトウェア構成
本ソフトウェアにはフルパッケージとライトパッケージがあります。
| 構成 | 機能 | フル | ライト | |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 転送ソフトウェア | 測定結果（画像データ、測長ファイルなど）の転送 | ○ | ○ |
| 2 | レシピ評価ソフトウェア | レシピ毎の稼動情報やエラー情報をExcel®で表示 | ○ | － |
| 3 | レシピビューアソフトウェア | レシピ情報をExcelで一括表示 | ○ | － |
| 4 | データ処理ソフトウェア | 測定結果をExcelでグラフ表示 | ○ | ○ |
| 5 | オフライン測長ソフトウェア | ターミナルPC上で再測定可能 | ○ | － |
| 6 | レシピ転送ソフトウェア | レシピを他の装置に転送 | オプション | オプション |
* Excelは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です。
対象装置
日立ハイテク製CD-SEM（詳細はお問い合わせください）
ご相談・お問い合わせ先
株式会社 日立ハイテクフィールディング お客様サポートセンタ
電話でのお問い合わせは、お客様サポートセンタ（フリーコール）までお願いいたします。
0120-203-813（24時間受付）
FAX :03-5379-1685
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