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走査型白色干渉顕微鏡「VS1000シリーズ」（4機種）は、微小粗さ、形状および膜厚の三次元測定を非接触・非破壊で行うことができる表面観察装置である。光干渉方式の採用により広い観察範囲（最大7.1 mm×5.3 mm）でも高いZ分解能（0.01 nm）を有し、三次元（面＋高さ）の微小な粗さおよび形状を数秒～ 10秒程度で非接触に計測することが可能である。また、透明多層構造フィルムの膜厚測定が可能で、層の界面や内部にある異物、はがれなどの情報も確認できるという特長を持つ。
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