走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)関連 消耗品
試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性/機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。
取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング
カンチレバー(走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)用)
カンチレバー呼び寸法
DFM用マイクロカンチレバー
SI-DF40、SI-DF20などはDFMの標準推奨品です。
SI-DF40P2など末尾が『P2』のタイプは探針がカンチレバーの先端に取り付けられており、測定箇所の位置合わせに便利です。
[ シリコン製DFM用カンチレバー( SI-DFXX) ]
種類 | バネ定数 K(N/m) | 共振周波数 f0 ( kHz) | 長さL (µm) |
---|---|---|---|
SI-DF40 | 42 | 250~390 | 125 |
SI-DF20 | 15 | 110~150 | 225 |
SI-DF3 | 1.6 | 23~31 | 450 |
[ シリコン製DFM用カンチレバー( SI-DFXXP2) ]
種類 | バネ定数 K(N/m) |
共振周波数 f0 ( kHz) |
長さL (µm) |
---|---|---|---|
SI-DF40P2 | 26 | 200~400 | 160 |
SI-DF20P2 | 9 | 100~200 | 200 |
SI-DF3P2 | 2 | 50~90 | 240 |
※SPA-400にはセットできないタイプがあり、改造が必要です。
[ DFM用カンチレバーの形状 ] ( SI-DF40,20,3 )
表面形状・機械的物性モードの推奨カンチレバー
測定モード:AFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SN-AF03 | Au | - | 0.32 0.08 |
67 17 |
10 | 3.5 | 100 200 |
13.5 28 |
0.5 | - |
CFE-0063 | 大気中・液中AFM標準推奨品。分離パッケージ品。長さの異なる2種類のレバー付属。 | 30本/組 | ||||||||
SI-AF01 | Al | - | 0.2 | 10~17 | 10 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | ○ |
K-A102001560 | 30本/組 |
測定モード:DFM(Phase)
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF20(背面ALコート) | Al | - | 15 | 110~150 | 10 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102002771 | DFM標準推奨品。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40(背面ALコート) | Al | - | 42 | 250~390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102002760 | DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20P2(*1) | Al | - | 9 | 100~200 | 7 | 14 | 200 | 40 | 3.5 | ○ |
K-W10200459 | DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。(*1) | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40P2(*1) | Al | - | 26 | 200~400 | 7 | 14 | 160 | 40 | 3.7 | ○ |
K-W10200456 | DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。(*1) | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3P2(*1) | Al | - | 2 | 50~90 | 7 | 14 | 240 | 40 | 2.3 | ○ |
K-W10200481 | レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。 SPA-400にはセットできない場合があります。(*1) |
30本/組 | ||||||||
SI-DF20Plus(背面ALコート) | Al | - | 15 | 110~150 | 7 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-W10200366 | SI-DF20よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40Plus(背面ALコート) | Al | - | 42 | 250~390 | 7 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-W10200365 | SI-DF40よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3(*2) | Al | - | 1.6 | 23~31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102001593 | 液中DFM標準推奨品。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3FM | Al | - | 2.8 | 60~90 | 7 | 12.5 | 225 | 28 | 3 | ○ |
K-W10200367 | 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。DF3P2タイプよりも静電気に強い。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF20S(背面ALコート) | Al | - | 15 | 110~150 | 2~5 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102002731 | 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40S(背面ALコート) | Al | - | 42 | 250~390 | 2~5 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102002742 | 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40H(傾斜補正10:1) | Al | - | 42 | 250~390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-W10200303 | ハイアスペクト探針(アスペクト比1:10)。補正角13°。高さ1.5 µmでφ150 nm以下、先端開き角<6°。80度程度の急峻側面に有効。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40H(傾斜補正5:1) | Al | - | 42 | 250~390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-W10200368 | ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。補正角13°。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40H(背面ALコート) | Al | - | 42 | 250~390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-W10200282 | ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 | 10本/組 | ||||||||
センサー内蔵型 | なし | - | 40 |
300~500 |
20(*1) | 8 | 120 | 50 | - | - |
レバーPRC-DF40P | ||||||||||
K-U001354500 | レバー最先端部にTipを取付けたTip View型のセンサー内蔵型DFMカンチレバー (光てこ系不要)専用カンチレバーホルダー必要。 |
10本/組 | ||||||||
SI-AF01-A | Al | Au | 0.2 | 10~17 | 30~50 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | - |
K-A102001571 | 30本/組 |
測定モード:FFMLM-FFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-AF01 | Al | - | 0.2 | 10~17 | 10 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | ○ |
K-A102001560 | 30本/組 | |||||||||
SI-DF3(*2) | Al | - | 1.6 | 23~31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102001593 | 30本/組 |
測定モード:VE-AFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-AF01-A | Al | Au | 0.2 | 10~17 | 30~50 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | ○ |
K-A102001571 | 30本/組 | |||||||||
SI-DF3-A(*2) | Al | Au | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102001582 | 30本/組 | |||||||||
SI-AF01 | Al | - | 0.2 | 10~17 | 10 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | ○ |
K-A102001560 | 30本/組 |
測定モード:VE-DFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3(*2) | Al | - | 1.6 | 23~31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102001593 | 硬い試料へはバネ定数の大きいDFMレバー使用も可。 | 30本/組 |
測定モード:アドヒージョン
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3(*2) | Al | - | 1.6 | 23~31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102001593 | 吸着が強い試料はSI-DF20も可。SI-DF3-Aも可。 | 30本/組 |
測定モード:ヤング率測定
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
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品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-FC40(400 nm) | なし | - | 42 | 250~390 | 400 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-U002350500 | フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア用。 | 10本/組 |
カンチレバーサンプルセット
セット名 | 型番 | 品目コード | セット内容 |
---|---|---|---|
DFM形状 測定セット |
SPL-DF | K-W10200732 | DFM形状測定セット SI-DF3P2 / SI-DF20P2 / SI-DF40P2 各10本のセット ※SPA400の一部カンチレバーホルダーは使用できない場合があります |
AFM/DFM 電気物性 測定セット |
SPL-MLT(L) | K-W10200848 | AFM / DFM / 電気物性測定セット SI-AF01 / SI-DF40P2 / SI-DF3R(両面) 各10本のセット AFM5400L対応 |
電気物性 測定セット |
SPL-EP | K-W10200733 | 電気物性測定セット SI-AF01-A / SI-DF3-R / SI-DF20-R 各10本のセット ※機械物性に関してはコート無でも測定可能です。 対応可能な測定モードにつきましてはお問合せください。 |
電磁気物性モードの推奨カンチレバー
測定モード:Nano/Pico Current AFM 電流同時AFM測定
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3-R(*2) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102002995 | 電流測定標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-R両面(*2) | Rh | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102002951 | SPA-500/L-trace用推奨品。SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3-R(100 nm)(*2) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 50~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102003731 | Rhを100 nm厚コート 金属コートの耐久性が必要な測定に有効。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20-R(100 nm) | Al | Rh | 15 | 110~150 | 50~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102003720 | 比較的硬い試料向き、試料に押し付けての電流測定。 | 30本/組 | ||||||||
SI-AF01-A | Al | Au | 0.2 | 10~17 | 30~50 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | - |
K-A102001571 | 比較的軟らかい試料向き。SI-AF01にAuコート(膜厚70 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-AF01-A両面 | Au | Au | 0.2 | 10~17 | 30~ | 12.5 | 450 | 50 | 2 | ○ |
K-A102002640 | SI-AF01に両面Auコート(膜厚70 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3-A(*2) | Al | Au | 1.6 | 23~31 | 30 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102001582 | SI-DF3にAuコート (膜厚70 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-A両面(*2) | Au | Au | 1.6 | 23~31 | 30~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102002651 | SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。 | 10本/組 |
測定モード:KFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
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品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3-A(*2) | Al | Au | 1.6 |
23~31 |
30~50 | 12.5 | 450 |
55 |
4 | - |
K-A102001582 | KFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-A両面(*2) | Au | Au | 1.6 |
23~31 |
30~ | 12.5 | 450 |
55 |
4 | ○ |
K-A102002651 | SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3-R(*2) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102002995 | KFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-R両面(*2) | Rh | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102002951 | SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。 | 10本/組 |
測定モード:SSRM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF40-CD(CDT-NCHR-10) | Al | ダイヤモンド | 80 | 225~610 | 100~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
U00097083000 | SSRM用標準推奨品。SI-DF40にBドープダイヤモンドコート。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40-R (100 nm) | Al | Rh | 42 | 250~390 | 50~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102003715 | SI-DF40にRh(100 nm厚)コート。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-R(100 nm) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 50~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102003731 | SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。 | 30本/組 |
測定モード:SNDM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF20-R両面 | Rh | Rh | 15 | 110~150 | 30~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | - |
K-A102003742 | 10本/組 | |||||||||
SI-DF40-R両面 | Rh | Rh | 42 | 250~390 | 30~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-W10200364 | 10本/組 | |||||||||
SI-DF3-R両面 | Rh | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102002951 | 10本/組 | |||||||||
両面Rhコート(膜厚30 nm)。レバーホルダーの構造上、導通をレバー背面からとっているため、両面とも導電性が大きいカンチレバーを推奨。SI-DF20-Rなどでも使用は可能。 |
測定モード:SNDMⅡ
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3-R(*2) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102002995 | EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20-R | Al | Rh | 15 | 110~150 | 30~50 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | - |
K-A102003502 | 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40-R | Al | Rh | 42 | 250~390 | 30~50 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-A102003611 | 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 | 30本/組 |
測定モード:圧電応答
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3-R(100 nm) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 50~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102003731 | 圧電応答標準推奨品。SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-R | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102002995 | SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20-R(100 nm) | Al | Rh | 15 | 110~150 | 50~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102003720 | SI-DF20にRh(100 nm厚)コート。 | 30本/組 |
測定モード:EFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3-R(*2) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102002995 | EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF3-A(*2) | Al | Au | 1.6 | 23~31 | 30~50 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-A102001582 | EFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40-R両面 | Rh | Rh | 42 | 250~390 | 30~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-W10200364 | EFM用真空測定推奨品。SI-DF40にRhコート(膜厚30 nm)。 | 10本/組 |
測定モード:MFM
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-MF3 | Al | 磁性体 コート |
1.5 | 23~31 | 35 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102001675 | SI-DF3に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF20 | Al | 磁性体 コート |
15 | 110~150 | 35 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102001680 | MFM標準推奨品、SI-DF20に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF40 | Al | 磁性体 コート |
42 | 250~390 | 35 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-A102001691 | 真空中測定用、SI-DF40に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF40LM | Al | 磁性体 コート |
42 | 250~390 | 15 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-A102004800 | 低モーメント探針、真空中高分解能測定用。CoPtCrコート 膜厚24 nm、着磁なし。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF3N | Al | 磁性体 コート |
2.8 | 60~90 | ~50 | 12.5 | 225 | 28 | 3 | - |
U00065766300 | 探針磁性体コーティング。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF40(着磁なし) | Al | 磁性体 コート |
42 | 250~390 | 50~60 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-A102004822 | 探針磁性体コーティング(CoPtCr 膜厚80 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF3-LM | Al | 磁性体 コート |
1.6 | 23~31 | 50~60 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-W10200320 | 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。 | 10本/組 | ||||||||
SI-MF20-LM | Al | 磁性体 コート |
15 | 110~150 | 100~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-W10200285 | 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。 | 10本/組 |
10本組カンチレバー(汎用Si系カンチレバー)
測定モード:DFM
測定 モード | 型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | |||||||||
DFM | SI-DF3(*2) | Al | - | 1.6 | 23~31 | 10 | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-W10200630 | 液中DFM標準推奨品。推奨カンチレバーホルダー(マルチホルダー、KFMホルダー)。 | 10本/組 | |||||||||
SI-DF20(背面Alコート) | Al | - | 15 | 110~150 | 10 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ | |
K-W10200646 | DFM標準推奨品。 | 10本/組 | |||||||||
SI-DF40(背面ALコート) | Al | - | 42 | 250~390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ | |
K-W10200645 | DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 | 10本/組 | |||||||||
SI-DF3P2(*1) | Al | - | 2 | 50~90 | 7 | 14 | 240 | 40 | 2.3 | ○ | |
K-W10200643 | レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。 SPA-400にはセットできない場合があります。 |
10本/組 | |||||||||
SI-DF20P2(*1) | Al | - | 9 | 100~200 | 7 | 14 | 200 | 40 | 3.5 | ○ | |
K-W10200641 | DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。 | 10本/組 | |||||||||
SI-DF40P2(*1) | Al | - | 26 | 200~400 | 7 | 14 | 160 | 40 | 3.7 | ○ | |
K-W10200640 | DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。 | 10本/組 |
測定モード:AFM電気物性測定用
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF3-R(*2) | Al | Rh | 1.6 | 23~31 | 30~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | - |
K-W10200633 | SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。 | 10本/組 |
その他カンチレバー
測定モード:DFM用
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-DF20 | なし | - | 15 | 110~150 | 10 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102001604 | DFM用。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40 | なし | - | 42 | 250~390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102001615 | DFM用。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20S | なし | - | 15 | 110~150 | 2~5 | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102001631 | DFM用スーパーシャープ探針。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40S | なし | - | 42 | 250~390 | 2~5 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102001642 | DFM用スーパーシャープ探針。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40H | なし | - | 42 | 250~390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
U00065768500 | ハイアスペクト探針(アスペクトト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、 先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 取付角±7°。 |
10本/組 | ||||||||
SI-DF40H(背面ALコート) | Al | - | 42 | 250~390 | 10 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-W10200282 | ハイアスペクト探針(アスペクトト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、 先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 取付角±7°。 |
10本/組 |
測定モード:電気物性機械物性測定用
型番 | 背面コート | 探針先端コート | K (N/m) | F (kHz) | R (nm) | D (µm) | L (µm) | W (µm) | T (µm) | SPA500 L-trace対応 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
品目コード | 用途・内容 | 数量 | ||||||||
SI-AF01-Pt | PtIr5 | PtIr5 | 0.2 | 10~17 | 25 | 12.5 | 450 | 50 | 2 | - |
K-A102003235 | 探針PtIr5コーティング。 | 20本/組 | ||||||||
SI-AF01-R両面 | Rh | Rh | 0.2 | 10~17 | 30~ | 12.5 | 450 | 50 | 2 | ○ |
K-A102002962 | 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3-R両面(*2)(100 nm) | Rh | Rh | 1.6 | 23~31 | 50~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102003911 | 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3-R両面(*2)(300 nm) | Rh | Rh | 1.6 | 23~31 | 100~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102003775 | 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3-R両面(*2)(60 nm) | Rh | Rh | 1.6 | 23~31 | 40~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
K-A102004844 | 探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF20-A | Al | Au | 15 | 110~150 | 30~50 | 12.5 | 225 |
33 |
5 | - |
K-A102001664 | 探針金コーティング(膜厚70 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20-R | Al | Rh | 15 | 110~150 | 30~50 | 12.5 | 225 |
33 |
5 | - |
K-A102003502 | 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF20-R両面(100 nm) | Rh | Rh | 15 | 110~150 | 50~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102003704 | 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF20-R両面(300 nm) | Rh | Rh | 15 | 110~150 | 100~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102003884 | 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF20-R両面(60 nm) | Rh | Rh | 15 | 110~150 | 40~ | 12.5 | 225 | 33 | 5 | ○ |
K-A102004833 | 探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF40-R | Al | Rh | 42 | 250~390 | 30~50 | 12.5 | 125 | 30 | 4 | - |
K-A102003611 | 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40-R(100 nm) | Al | Rh | 42 | 250~390 | 50~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102003715 | 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40-R(300 nm) | Al | Rh | 42 | 250~390 | 100~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102004855 | 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 | 30本/組 | ||||||||
SI-DF40-R 両面(300 nm) | Al | Rh | 42 | 250~390 | 100~ | 12.5 | 125 | 30 | 4 | ○ |
K-A102005204 | 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 | 10本/組 | ||||||||
SI-DF3D(*2) | Al | ダイヤモンド | 1.6 | 23~31 | 100~ | 12.5 | 450 | 55 | 4 | ○ |
U00065814600 | 探針ダイヤモンドコーティング。 | 10本/組 |
操作ガイド ~カンチレバーの特性~
AFM用カンチレバーの特性 (PDF形式、453Kバイト)※準備中です。
DFM用カンチレバーの特性 (PDF形式、413Kバイト)※準備中です。
(全カンチレバー) バネ定数K(N/m)は、設計値となります。
*1
SI-DF3P2、SI-DF20P2、SI-DF40P2について・・・
SPA400のワイヤータイプでないDFMホルダーには、セットできないものがあります。使用するためにはホルダーの改造が必要です。
(費用については、弊社サービス担当にご連絡ください。サービス受付電話番号0120-513-522)
*2 小型AFMのお客様はSI-DF3系レバーを使用の際は、マルチホルダかKFMホルダを推奨しております。
(注意)AFM5500M、L-traceWIDE、L-traceII、L-trace、SPA500系のユニットは、
-
窒化シリコン製カンチレバー(SN-で始まるカンチレバー)は取り付けることができません。
シリコン製カンチレバー(SI-で始まるカンチレバー)をお使いください。 - AFM5500M、L-trace、SPA500系のユニットで電気物性測定を行う場合は、両面金属コートや膜厚100 nm以上のものをお使いください。
- SI-DF40-で始まるカンチレバーを推奨します。
標準試料・試料台(走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)用)
標準試料
名称 | HOPG標準試料 | 校正用スタンダード試料 STS3-1000P | 校正用レファレンス試料 STR3-1000P | 校正用レファレンス試料 STR10-1000P | |
---|---|---|---|---|---|
コード | GBB-0017 |
CFE-0505 |
GCB-0038 |
GCB-0023 |
CFE-0510 |
数量 | 1式 | 4個/組 | 1式 | 1式 | 1式 |
内容 | 試料サイズ 12 mm角 |
試料サイズ 5 mm角セット |
段差1000Å | 段差1000Å | 段差1000Å |
名称 | AFM校正用 パターン試料 |
マイカ標準試料 | 傾斜評価用 標準サンプル |
探針評価サンプル | ゲルパック |
コード | K-Y10200180 |
GBB-0007 |
GCN-0018 |
GBB-0079 |
CFE-0511 |
数量 | 1個 | 1個 | 1個 | 1個 | 5個/組 |
名称 | PMMAヤング率測定 標準サンプル |
||||
コード | GAA-0966 |
||||
数量 | 20枚/式 |
試料台
名称 | 試料台(磁石取付に対応)Niメッキ | シャーレステージ(液中用)大型試料台付 | ||
---|---|---|---|---|
コード | GCB-0098 |
GCB-0078 |
GAA-0223 |
GAA-0224 |
数量 | 10枚/組 | 10枚/組 | 1式 | 1式 |
内容 | 試料サイズ 20 mm径用 | 試料サイズ 30 mm径用 | ステージ+樹脂製2個 | ステージ+ガラス製2個 |
名称 | インパクトステージ セット |
ウエハー用 断面測定用試料台 |
E-sweep用※ 標準試料台 |
E-sweep用※ 磁石試料台 |
コード | K-YSPI936D017 |
GCB-0075 |
GCB-0031 |
CFE-0513 |
数量 | 1式 | 1式 | 3個/式 | 1式 |
内容 | 試料台とスライダー2個 | |||
名称 | E-sweep用※ 加熱冷却試料板 |
雰囲気遮断試料 ホルダ(平面用) |
雰囲気遮断試料 ホルダ(断面用) |
雰囲気遮断マスク (断面用) |
コード | CFE-0514 |
K-W10200749 |
K-W10200748 |
K-W10200739 |
数量 | 1組 | 1式 | 1式 | 5枚/組 |
内容 | 10 mmX10 mmX0.5 mm銅製5枚 | 雰囲気遮断試料搬送ユニットの構成部材です。 ※図1参照 |
||
名称 | ゲルプレート | ゲル台 | ||
コード | AHS-0654 |
U00062376600 |
||
数量 | 2個/組 | 1個 | ||
内容 | AFM5500M用 | AFM5400L用 |
※AFM5300Eと共通で使用できます。
図1.雰囲気遮断試料搬送ユニット使用イメージ
雰囲気遮断試料ホルダにより、SEM、IM、AFM間を大気に曝露することなく搬送できるので、2次電池等の評価に最適です。
消耗品の価格について
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* ご使用製品の登録(型式、シリアルNo.など)が必要です。
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