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日立ハイテク
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走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)関連 消耗品

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)関連 消耗品

試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性/機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

カンチレバー(走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)用)

カンチレバー呼び寸法

-

DFM用マイクロカンチレバー

SI-DF40、SI-DF20などはDFMの標準推奨品です。
SI-DF40P2など末尾が『P2』のタイプは探針がカンチレバーの先端に取り付けられており、測定箇所の位置合わせに便利です。

[ シリコン製DFM用カンチレバー( SI-DFXX) ]

SI-DF40、SI-DF20、SI-DF3 など
種類バネ定数
K(N/m)
共振周波数
f0 ( kHz)
長さL
(µm)
SI-DF40 42 250~390 125
SI-DF20 15 110~150 225
SI-DF3 1.6 23~31 450

[ シリコン製DFM用カンチレバー( SI-DFXXP2) ]

SI-DF40P2、SI-DF20P2、SI-DF3P2 など
種類 バネ定数
K(N/m)
共振周波数
f0 ( kHz)
長さL
(µm)
SI-DF40P2 26 200~400 160
SI-DF20P2 9 100~200 200
SI-DF3P2 2 50~90 240

SPA-400にはセットできないタイプがあり、改造が必要です。

[ DFM用カンチレバーの形状 ] ( SI-DF40,20,3 )

-

表面形状・機械的物性モードの推奨カンチレバー

測定モード:AFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SN-AF03 Au 0.32
0.08
67
17
10 3.5 100
200
13.5
28
0.5
CFE-0063 大気中・液中AFM標準推奨品。分離パッケージ品。長さの異なる2種類のレバー付属。 30本/組
SI-AF01 Al 0.2 10~17 10 12.5 450 50 2
K-A102001560   30本/組

測定モード:DFM(Phase)

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF20(背面ALコート) Al 15 110~150 10 12.5 225 33 5
K-A102002771 DFM標準推奨品。 30本/組
SI-DF40(背面ALコート) Al 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-A102002760 DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 30本/組
SI-DF20P2(*1) Al 9 100~200 7 14 200 40 3.5
K-W10200459 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。(*1) 30本/組
SI-DF40P2(*1) Al 26 200~400 7 14 160 40 3.7
K-W10200456 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。(*1) 30本/組
SI-DF3P2(*1) Al 2 50~90 7 14 240 40 2.3
K-W10200481 レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。
SPA-400にはセットできない場合があります。(*1)
30本/組
SI-DF20Plus(背面ALコート) Al 15 110~150 7 12.5 225 33 5
K-W10200366 SI-DF20よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。 10本/組
SI-DF40Plus(背面ALコート) Al 42 250~390 7 12.5 125 30 4
K-W10200365 SI-DF40よりも先端が先鋭化されている。高分解能測定に有効。 10本/組
SI-DF3(*2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593 液中DFM標準推奨品。 30本/組
SI-DF3FM Al 2.8 60~90 7 12.5 225 28 3
K-W10200367 高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。DF3P2タイプよりも静電気に強い。 10本/組
SI-DF20S(背面ALコート) Al 15 110~150 2~5 12.5 225 33 5
K-A102002731 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40S(背面ALコート) Al 42 250~390 2~5 12.5 125 30 4
K-A102002742 高分解能測定用、スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40H(傾斜補正10:1) Al 42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-W10200303 ハイアスペクト探針(アスペクト比1:10)。補正角13°。高さ1.5 µmでφ150 nm以下、先端開き角<6°。80度程度の急峻側面に有効。 10本/組
SI-DF40H(傾斜補正5:1) Al 42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-W10200368 ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。補正角13°。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効。 10本/組
SI-DF40H(背面ALコート) Al 42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-W10200282 ハイアスペクト探針(アスペクト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 10本/組
センサー内蔵型 なし 40

 

300~500

20(*1) 8 120 50
レバーPRC-DF40P
K-U001354500 レバー最先端部にTipを取付けたTip View型のセンサー内蔵型DFMカンチレバー
(光てこ系不要)専用カンチレバーホルダー必要。
10本/組
SI-AF01-A Al Au 0.2 10~17 30~50 12.5 450 50 2
K-A102001571   30本/組

測定モード:FFMLM-FFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-AF01 Al 0.2 10~17 10 12.5 450 50 2
K-A102001560   30本/組
SI-DF3(*2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593   30本/組

測定モード:VE-AFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-AF01-A Al Au 0.2 10~17 30~50 12.5 450 50 2
K-A102001571   30本/組
SI-DF3-A(*2) Al Au 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102001582   30本/組
SI-AF01 Al 0.2 10~17 10 12.5 450 50 2
K-A102001560   30本/組

測定モード:VE-DFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3(*2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593 硬い試料へはバネ定数の大きいDFMレバー使用も可。 30本/組

測定モード:アドヒージョン

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3(*2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-A102001593 吸着が強い試料はSI-DF20も可。SI-DF3-Aも可。 30本/組

測定モード:ヤング率測定

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-FC40(400 nm) なし 42 250~390 400 12.5 125 30 4
K-U002350500 フォースカーブ/ヤング率測定ソフトウェア用。 10本/組

カンチレバーサンプルセット

セット名型番品目コードセット内容
DFM形状
測定セット
SPL-DF K-W10200732 DFM形状測定セット SI-DF3P2 / SI-DF20P2 / SI-DF40P2 各10本のセット
※SPA400の一部カンチレバーホルダーは使用できない場合があります
AFM/DFM 電気物性
測定セット
SPL-MLT(L) K-W10200848 AFM / DFM / 電気物性測定セット
SI-AF01 / SI-DF40P2 / SI-DF3R(両面) 各10本のセット AFM5400L対応
電気物性
測定セット
SPL-EP K-W10200733 電気物性測定セット SI-AF01-A / SI-DF3-R / SI-DF20-R 各10本のセット
※機械物性に関してはコート無でも測定可能です。
対応可能な測定モードにつきましてはお問合せください。

電磁気物性モードの推奨カンチレバー

測定モード:Nano/Pico Current AFM 電流同時AFM測定

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3-R(*2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 電流測定標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF3-R両面(*2) Rh Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002951 SPA-500/L-trace用推奨品。SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。 10本/組
SI-DF3-R(100 nm)(*2) Al Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003731 Rhを100 nm厚コート 金属コートの耐久性が必要な測定に有効。 30本/組
SI-DF20-R(100 nm) Al Rh 15 110~150 50~ 12.5 225 33 5
K-A102003720 比較的硬い試料向き、試料に押し付けての電流測定。 30本/組
SI-AF01-A Al Au 0.2 10~17 30~50 12.5 450 50 2
K-A102001571 比較的軟らかい試料向き。SI-AF01にAuコート(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-AF01-A両面 Au Au 0.2 10~17 30~ 12.5 450 50 2
K-A102002640 SI-AF01に両面Auコート(膜厚70 nm)。 10本/組
SI-DF3-A(*2) Al Au 1.6 23~31 30 12.5 450 55 4
K-A102001582 SI-DF3にAuコート (膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF3-A両面(*2) Au Au 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002651 SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。 10本/組

測定モード:KFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3-A(*2) Al Au 1.6

23~31

30~50 12.5 450

55

4
K-A102001582 KFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF3-A両面(*2) Au Au 1.6

23~31

30~ 12.5 450

55

4
K-A102002651 SI-DF3に両面Auコート(膜厚70 nm)。 10本/組
SI-DF3-R(*2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 KFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF3-R両面(*2) Rh Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002951 SI-DF3に両面Rhコート(膜厚30 nm)。 10本/組

測定モード:SSRM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF40-CD(CDT-NCHR-10) Al ダイヤモンド 80 225~610 100~ 12.5 125 30 4
U00097083000 SSRM用標準推奨品。SI-DF40にBドープダイヤモンドコート。 10本/組
SI-DF40-R (100 nm) Al Rh 42 250~390 50~ 12.5 125 30 4
K-A102003715 SI-DF40にRh(100 nm厚)コート。 30本/組
SI-DF3-R(100 nm) Al Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003731 SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。 30本/組

測定モード:SNDM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF20-R両面 Rh Rh 15 110~150 30~ 12.5 225 33 5
K-A102003742   10本/組
SI-DF40-R両面 Rh Rh 42 250~390 30~ 12.5 125 30 4
K-W10200364   10本/組
SI-DF3-R両面 Rh Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-A102002951   10本/組
両面Rhコート(膜厚30 nm)。レバーホルダーの構造上、導通をレバー背面からとっているため、両面とも導電性が大きいカンチレバーを推奨。SI-DF20-Rなどでも使用は可能。

測定モード:SNDMⅡ

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3-R(*2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF20-R Al Rh 15 110~150 30~50 12.5 225 33 5
K-A102003502 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF40-R Al Rh 42 250~390 30~50 12.5 125 30 4
K-A102003611 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 30本/組

測定モード:圧電応答

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3-R(100 nm) Al Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003731 圧電応答標準推奨品。SI-DF3にRh(100 nm厚)コート。 30本/組
SI-DF3-R Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF20-R(100 nm) Al Rh 15 110~150 50~ 12.5 225 33 5
K-A102003720 SI-DF20にRh(100 nm厚)コート。 30本/組

測定モード:EFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3-R(*2) Al Rh 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102002995 EFM用標準推奨品。SI-DF3にRhコート(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF3-A(*2) Al Au 1.6 23~31 30~50 12.5 450 55 4
K-A102001582 EFM用標準推奨品。SI-DF3にAuコート(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF40-R両面 Rh Rh 42 250~390 30~ 12.5 125 30 4
K-W10200364 EFM用真空測定推奨品。SI-DF40にRhコート(膜厚30 nm)。 10本/組

測定モード:MFM

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-MF3 Al 磁性体
コート
1.5 23~31 35 12.5 450 55 4
K-A102001675 SI-DF3に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 10本/組
SI-MF20 Al 磁性体
コート
15 110~150 35 12.5 225 33 5
K-A102001680 MFM標準推奨品、SI-DF20に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 10本/組
SI-MF40 Al 磁性体
コート
42 250~390 35 12.5 125 30 4
K-A102001691 真空中測定用、SI-DF40に磁性体コート。(CoPtCr 膜厚80 nm)着磁済(S極)。 10本/組
SI-MF40LM Al 磁性体
コート
42 250~390 15 12.5 125 30 4
K-A102004800 低モーメント探針、真空中高分解能測定用。CoPtCrコート 膜厚24 nm、着磁なし。 10本/組
SI-MF3N Al 磁性体
コート
2.8 60~90 ~50 12.5 225 28 3
U00065766300 探針磁性体コーティング。 10本/組
SI-MF40(着磁なし) Al 磁性体
コート
42 250~390 50~60 12.5 125 30 4
K-A102004822 探針磁性体コーティング(CoPtCr 膜厚80 nm)。 10本/組
SI-MF3-LM Al 磁性体
コート
1.6 23~31 50~60 12.5 450 55 4
K-W10200320 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。 10本/組
SI-MF20-LM Al 磁性体
コート
15 110~150 100~ 12.5 225 33 5
K-W10200285 低モーメント探針(CoPtCrコート 膜厚24 nm)着磁なし。 10本/組

10本組カンチレバー(汎用Si系カンチレバー)

測定モード:DFM

測定
モード
型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
DFM SI-DF3(*2) Al 1.6 23~31 10 12.5 450 55 4
K-W10200630 液中DFM標準推奨品。推奨カンチレバーホルダー(マルチホルダー、KFMホルダー)。 10本/組
SI-DF20(背面Alコート) Al 15 110~150 10 12.5 225 33 5
K-W10200646 DFM標準推奨品。 10本/組
SI-DF40(背面ALコート) Al 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-W10200645 DFM標準推奨品。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。 10本/組
SI-DF3P2(*1) Al 2 50~90 7 14 240 40 2.3
K-W10200643 レバー最先端部に探針取付け。高分子、生体試料など柔らかい試料に有効。
SPA-400にはセットできない場合があります。
10本/組
SI-DF20P2(*1) Al 9 100~200 7 14 200 40 3.5
K-W10200641 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。柔らかい試料から硬い試料まで幅広いサンプルに対応可能。SPA-400にはセットできない場合があります。 10本/組
SI-DF40P2(*1) Al 26 200~400 7 14 160 40 3.7
K-W10200640 DFM標準推奨品。レバー最先端部に探針取付け。凹凸、静電気、吸着等が大きな試料に有効。SPA-400にはセットできない場合があります。 10本/組

測定モード:AFM電気物性測定用

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF3-R(*2) Al Rh 1.6 23~31 30~ 12.5 450 55 4
K-W10200633 SI-DF3にRh コート(膜厚30 nm)。 10本/組

その他カンチレバー

測定モード:DFM用

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-DF20 なし 15 110~150 10 12.5 225 33 5
K-A102001604 DFM用。 30本/組
SI-DF40 なし 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-A102001615 DFM用。 30本/組
SI-DF20S なし 15 110~150 2~5 12.5 225 33 5
K-A102001631 DFM用スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40S なし 42 250~390 2~5 12.5 125 30 4
K-A102001642 DFM用スーパーシャープ探針。 10本/組
SI-DF40H なし 42 250~390 10 12.5 125 30 4
U00065768500 ハイアスペクト探針(アスペクトト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、
先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 取付角±7°。
10本/組
SI-DF40H(背面ALコート) Al 42 250~390 10 12.5 125 30 4
K-W10200282 ハイアスペクト探針(アスペクトト比1:5)。高さ2 µmでφ400 nm以下、
先端開き角<10°。80度程度の急峻側面に有効 取付角±7°。
10本/組

測定モード:電気物性機械物性測定用

型番背面コート探針先端コートK
(N/m)
F
(kHz)
R
(nm)
D
(µm)
L
(µm)
W
(µm)
T
(µm)
SPA500
L-trace対応
品目コード用途・内容数量
SI-AF01-Pt PtIr5 PtIr5 0.2 10~17 25 12.5 450 50 2
K-A102003235 探針PtIr5コーティング。 20本/組
SI-AF01-R両面 Rh Rh 0.2 10~17 30~ 12.5 450 50 2
K-A102002962 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 10本/組
SI-DF3-R両面(*2)(100 nm) Rh Rh 1.6 23~31 50~ 12.5 450 55 4
K-A102003911 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 10本/組
SI-DF3-R両面(*2)(300 nm) Rh Rh 1.6 23~31 100~ 12.5 450 55 4
K-A102003775 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 10本/組
SI-DF3-R両面(*2)(60 nm) Rh Rh 1.6 23~31 40~ 12.5 450 55 4
K-A102004844 探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。 10本/組
SI-DF20-A Al Au 15 110~150 30~50 12.5 225

33

5
K-A102001664 探針金コーティング(膜厚70 nm)。 30本/組
SI-DF20-R Al Rh 15 110~150 30~50 12.5 225

33

5
K-A102003502 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF20-R両面(100 nm) Rh Rh 15 110~150 50~ 12.5 225 33 5
K-A102003704 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 10本/組
SI-DF20-R両面(300 nm) Rh Rh 15 110~150 100~ 12.5 225 33 5
K-A102003884 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 10本/組
SI-DF20-R両面(60 nm) Rh Rh 15 110~150 40~ 12.5 225 33 5
K-A102004833 探針ロジウムコーティング(膜厚60 nm)。 10本/組
SI-DF40-R Al Rh 42 250~390 30~50 12.5 125 30 4
K-A102003611 探針ロジウムコーティング(膜厚30 nm)。 30本/組
SI-DF40-R(100 nm) Al Rh 42 250~390 50~ 12.5 125 30 4
K-A102003715 探針ロジウムコーティング(膜厚100 nm)。 30本/組
SI-DF40-R(300 nm) Al Rh 42 250~390 100~ 12.5 125 30 4
K-A102004855 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 30本/組
SI-DF40-R 両面(300 nm) Al Rh 42 250~390 100~ 12.5 125 30 4
K-A102005204 探針ロジウムコーティング(膜厚300 nm)。 10本/組
SI-DF3D(*2) Al ダイヤモンド 1.6 23~31 100~ 12.5 450 55 4
U00065814600 探針ダイヤモンドコーティング。 10本/組

操作ガイド ~カンチレバーの特性~

AFM用カンチレバーの特性 (PDF形式、453Kバイト)※準備中です。
DFM用カンチレバーの特性 (PDF形式、413Kバイト)※準備中です。

(全カンチレバー) バネ定数K(N/m)は、設計値となります。

*1 SI-DF3P2、SI-DF20P2、SI-DF40P2について・・・
SPA400のワイヤータイプでないDFMホルダーには、セットできないものがあります。使用するためにはホルダーの改造が必要です。
(費用については、弊社サービス担当にご連絡ください。サービス受付電話番号0120-513-522)

*2 小型AFMのお客様はSI-DF3系レバーを使用の際は、マルチホルダかKFMホルダを推奨しております。

(注意)AFM5500M、L-traceWIDE、L-traceII、L-trace、SPA500系のユニットは、

  • 窒化シリコン製カンチレバー(SN-で始まるカンチレバー)は取り付けることができません。
    シリコン製カンチレバー(SI-で始まるカンチレバー)をお使いください。
  • AFM5500M、L-trace、SPA500系のユニットで電気物性測定を行う場合は、両面金属コートや膜厚100 nm以上のものをお使いください。
  • SI-DF40-で始まるカンチレバーを推奨します。

標準試料・試料台(走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)用)

標準試料

名称 HOPG標準試料 校正用スタンダード試料 STS3-1000P 校正用レファレンス試料 STR3-1000P 校正用レファレンス試料 STR10-1000P
コード
GBB-0017

CFE-0505

GCB-0038

GCB-0023

CFE-0510
数量 1式 4個/組 1式 1式 1式
内容 試料サイズ
12 mm角
試料サイズ
5 mm角セット
段差1000Å 段差1000Å 段差1000Å
名称 AFM校正用
パターン試料
マイカ標準試料 傾斜評価用
標準サンプル
探針評価サンプル ゲルパック
コード
K-Y10200180

GBB-0007

GCN-0018

GBB-0079

CFE-0511
数量 1個 1個 1個 1個 5個/組
名称 PMMAヤング率測定
標準サンプル
       
コード
GAA-0966
       
数量 20枚/式        

試料台

名称 試料台(磁石取付に対応)Niメッキ シャーレステージ(液中用)大型試料台付
コード
GCB-0098

GCB-0078

GAA-0223

GAA-0224
数量 10枚/組 10枚/組 1式 1式
内容 試料サイズ 20 mm径用 試料サイズ 30 mm径用 ステージ+樹脂製2個 ステージ+ガラス製2個
名称 インパクトステージ
セット
ウエハー用
断面測定用試料台
E-sweep用※
標準試料台
E-sweep用※
磁石試料台
コード
K-YSPI936D017

GCB-0075

GCB-0031

CFE-0513
数量 1式 1式 3個/式 1式
内容 試料台とスライダー2個      
名称 E-sweep用※
加熱冷却試料板
雰囲気遮断試料
ホルダ(平面用)
雰囲気遮断試料
ホルダ(断面用)
雰囲気遮断マスク
(断面用)
コード
CFE-0514

K-W10200749

K-W10200748

K-W10200739
数量 1組 1式 1式 5枚/組
内容 10 mmX10 mmX0.5 mm銅製5枚 雰囲気遮断試料搬送ユニットの構成部材です。
※図1参照
 
名称 ゲルプレート ゲル台    
コード
AHS-0654

U00062376600
   
数量 2個/組 1個    
内容 AFM5500M用 AFM5400L用    

※AFM5300Eと共通で使用できます。

図1.雰囲気遮断試料搬送ユニット使用イメージ

-

雰囲気遮断試料ホルダにより、SEM、IM、AFM間を大気に曝露することなく搬送できるので、2次電池等の評価に最適です。

消耗品の価格について

消耗品の価格などについては、会員制サイトS.I.naviにてご覧いただけます。

* ご使用製品の登録(型式、シリアルNo.など)が必要です。

【会員制サイトS.I.navi】

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