ナノ3D光干渉計測システム（CSI）
ナノ3D光干渉計測システム（CSI）は、光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置です。光の干渉スケールを用いることで、高さ分解能 0.01 nmを維持したまま広い視野領域の計測を実現しています。VS1800では、透明積層体の光学界面から得られる干渉ピークを高さ検出することにより、表面形状計測に加え多層膜の層構造および層内部の異物計測が可能です。
製品情報
卓上・小型タイプから自動ステージ搭載可能な中型まで幅広い装置ラインアップと目的に応じた測定をサポートするオプション群を取り揃えています。
ナノ3D光干渉計測システムVS1800
ナノ3D光干渉計測システムVS1800は、光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。
走査型白色干渉顕微鏡 VS1330
光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。
顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。
卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。
製品導入事例（お客様の声）
層断面の受託測定という全国唯一のサービスを支える日立CSI（走査型白色干渉顕微鏡）
材料の表面をワンショットで撮影できることが選定のポイントでした。
ユーザースクール
当社主催の走査型白色干渉顕微鏡ユーザースクールのご案内です。
製品ユーザー向け情報
当社の走査型白色干渉顕微鏡（CSI）をお使いのお客様向けの情報です。
走査型プローブ顕微鏡に関する保守・サービス情報をまとめています。
当社装置をお使いのユーザー様向けに、アプリケーションデータをはじめ各種情報をご提供しています。
生産を終了した製品一覧と、消耗品・修理部品の保有期限の一覧です。
テクニカルサポート
走査型白色干渉顕微鏡に関連する最新情報をご提供しています。
「光干渉法」から各種計測モードまで、走査型白色干渉顕微鏡について解説します。
走査型白色干渉顕微鏡による観測事例を分野別にギャラリー形式でご覧いただけます。
従来の測定器では困難であったフィルム業界向けの最新測定技術をご紹介しています。
走査型白色干渉顕微鏡 新機能
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高傾斜測定オプションのご紹介
従来の測定では困難であった急傾斜面の測定が可能になりました。高傾斜測定オプションを用いたアプリケーションデータをご紹介しています。 -
解析支援 "ISO 25178 パラメータ比較ツール"のご紹介
線粗さRaや面粗さSaだけでは違いがわかりづらい試料において、違いの定量化をサポートする機能、ISO比較ツールについてご紹介しています。
関連情報
「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。
日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution（セメボリューション）」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。
