유닛 (측정부)
범용형에서 환경용, 대형 샘플용 등 폭넓은 라인업을 갖춘 주사형 Probe 현미경(SPM) 유닛 (측정부) 라인업을 소개합니다.
중형 Probe 현미경 시스템 AFM5500M
XY200 µm 의 넓은 영역 주사와 더불어, 뒤틀림을 억제한 Flat 스캐너로 직선성 높은 계측을 실현할 수 있는 중형 SPM입니다. 또한 Cantilever의 장착・교환, 광축 조정을 자동화함에 따라 Operator의 부담을 큰 폭으로 경감하였습니다. 또한, SEM과 SPM 시료의 동일한 부분을 간단하게 측정할 수 있는 AFM&SEM Linkage System 탑재가 가능합니다.
환경 제어형 유닛 AFM5300E
진공・액체 내・가스・온도・습도 등 다양한 환경 니즈에 대응하는 환경 제어형 SPM입니다. 전자 Device와 같은 전기 물성 평가에 필수적인 흡착수 영향 등을 배제한 고진공 하에서의 평가를 실현합니다. 아울러 전용 분위기 차단 홀더를 통하여 SEM, IM, SPM 사이를 대기 노출 없이 반송할 수 있어 2차전지 등을 평가 할 때 최적입니다.