환경 제어형 유닛 AFM5300E

진공・액체 내・가스・온도・습도 등 다양한 환경 니즈에 대응하는 환경 제어형 SPM입니다. 전자 Device와 같은 전기 물성 평가에 필수적인 흡착수 영향 등을 배제한 고진공 하에서의 평가를 실현합니다. 아울러 전용 분위기 차단 홀더를 통하여 SEM, IM, SPM 사이를 대기 노출 없이 반송할 수 있어 2차전지 등을 평가 할 때 최적입니다.

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특징 사양

특징

환경 측정 니즈에 대응 (광학계의 대기 중 배치 / 연속 가열・냉각 지원)

기존의 대기형 SPM에서는 실현할 수 없었던 환경 하에서도 측정이 가능한 환경 제어형 SPM입니다. 표면 흡착수의 영향을 최소한으로 억제할 수 있는 고진공 상태에서의 전기 계측이나, 가열・냉각 상태에서의 시료 물성 Mapping 등이 가능합니다. 아울러 새롭게 개발한 「온도 Swipe 기능」 은 온도 환경 변화에 따른 시료의 열 확장 / 수축으로부터 기인하는 Z축 측정 영역 이탈을 감시하여 Feedback 제어함에 따라 Cantilever를 시료 면에 접촉한 채로 연속 물성 측정이 가능합니다.
(특허 3857581호, 특허 3926638호)

대기 중
액체 내
진공
온도 제어
습도 제어

간이 조작 실현 (통합형 홀더 Flange)

공구가 필요 없는 「통합형 홀더 Flange 개폐 기능」을 채용하여 시료의 도입 교환이나 스캐너 교환을 용이하게 함과 동시에, 환경제어 SPM의 숙명인 시료 교환 후 광축 조정도 불필요해졌습니다. 측정 모드 전환 시의 홀더 교환조차 필요 없습니다.

탁월한 고성능 확립

「Swing Cancel 기능」을 채용하여 시료부의 흔들림을 철저하게 감소시키고, Drift량을 줄였습니다. Nano Order의 구조 해석에 필수불가결한 기본 성능을 향상시켜 신뢰성을 높였습니다.
Drift량: 0.015 nm/sec 이하

표면 흡착수의 영향 감소에 따른 전기물성 모드 분해능 향상

전기 특성 등을 관찰할 경우, 시료 표면이나 탐침에 붙은 수분 등의 영향에 의해서 분해능이 저하되는 경우가 있습니다. 진공 상태로 만들면 표면에 부착된 수분과 오염 등을 배제시키고, 물성 관찰 모드에서의 고분해능 / 고감도 관찰이 가능해집니다.

사양

검출계	Optical Lever 방식
검출계 광원	Low-Coherent형 반도체 레이저
분해능	원자분해능
시료 크기	최대 25 mmφ, 두께 10 mm
스캐너 (주사 범위)	Open-Roof XY: 20 µm / Z: 1.5 µm XY: 100 µm / Z: 15 µm XY: 150 µm / Z: 5 µm Closed-Roof XY: 15 µm
광학 현미경	줌 기능 부속 현미경 금속현미경
기본 기능	AFM, DFM, PM, FFM
기능 확장성^*	SIS, STM, LM-FFM, VE-AFM, Adhesion, Current, SSRM, SNDM, PRM, KFM, EFM, MFM
제진 기구	에어 공급식 Passive 제진대
대응 환경	Manual Stage XY: ±2.5 mm
対応環境	大気, 真空^, 液中^, 湿度^, 加熱冷却^（-120～300℃/RT～800℃）
진공 배기계^*	자기부상형 터보 분자 펌프 (250L/sec) 직결형 로터리 펌프 (200L/min(50Hz), 237L/min(60Hz))