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日立ハイテク
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沿革

会社沿革 製品の歴史
2020 株式会社日立ハイテクノロジーズが株式会社日立ハイテクへ社名を変更
小山事業所を富士小山事業所へ改称
2019 日立儀器(上海)有限公司の資産を日立分析儀器(上海)有限公司へ譲渡
2018
2017 株式会社エポリードサービスを株式会社日立ハイテクサイエンスに吸収合併
2015
2014 世界最高水準の分解能のシーケンシャル型ICP発光分光分析装置を発売(PS3500DDII)
コンパクトで容易な操作性のHPLC用質量検出器を発売(Chromaster 5610)
2013 株式会社日立ハイテクノロジーズおよび株式会社日立ハイテク コントロールシステムズより、分析装置事業の設計および国内販売機能を承継
セイコーインスツル(SII)が当社の全株式を株式会社日立ハイテクノロジーズへ譲渡したことで同社の子会社となり、商号を株式会社日立ハイテクサイエンスに変更、本社を東京都港区に移転
日立ハイテクノロジーズから、分析事業にかかわる設計開発・品質保証・営業部門を承継
目的に応じた検知器を選択できる固体試料用の分光光度計を発売(UH4150)
世界最高のシステム耐圧で高速分析を実現した超高速液体クロマトグラフを発売(ChromasterUltra Rs)
2012 世界初のツインインジェクションテクノロジで大容量分析時の精度を向上した偏光ゼーマン原子吸光光度計を発売(ZA3000シリーズ)
2011 独スペクトロ社と販売提携をし、ICP発光分光/質量分析装置の販売を開始
2010 世界トップレベルの感度とベースライン安定性・再現性を実現した高感度型示差走査熱量計を商品化(X-DSC)
低キャリーオーバー、高再現性等、高い基本性能を持つ高速液体クロマトグラフを発売(Chromasterシリーズ)
2009
2008 高速マッピング機能搭載の蛍光X線分析装置を商品化(SEA6000VX HSFinder)
2007
2006
2005 米国 カリフォルニアにSII NanoTechnology USA Inc.(現Hitachi High-Tech Science America, Inc.)を設立 FIB、SEM、Arイオンビームを搭載したトリプルビーム装置を世界で初めて商品化(SMI3000TBシリーズ)
60,000nm/minの高速スキャンを実現した分光蛍光光度計を発売(F-7000)
分析時間従来比1/2、タッチパネルと専用ナビで簡単操作を実現した高速アミノ酸分析計を発売(L-8900形)
2004 中国 上海に精工盈司電子科技(上海)有限公司(現日立儀器(上海)有限公司)を設立 液化窒素レス検出器を採用した有害物質モニターを商品化(SEA1000A)
分解能4nmのFIBと高性能SEMの複合装置を商品化(SMI3000SEシリーズ)
2003 エスアイアイ・ナノテクノロジーがSIIの科学機器事業を会社分割により 承継するとともに、株式会社エポリードサービスの株式を取得
エスアイアイ・マイクロスコープが商号をエスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社に変更
2002 90nmノード対応のFIBによるマスクリペア装置発売(SIR5000)
2001 日製産業が、株式会社日立製作所の計測機器グループ・半導体製造装置グループとの事業統合に伴い、商号を株式会社日立ハイテクノロジーズに変更
2000 SIIが当社の前身であるエスアイアイ・マイクロスコープ株式会社を設立
1999 CCD検出器を搭載した多元素同時型ICP発光分光分析装置を商品化(SPS5000)
1998 小山事業所ISO14001認証取得
1997
1996 0.18ミクロンデザインルールに対応したマスクリペア装置を商品化(SIR3000)
1995 SIIが、科学機器の製品の保守サービス・消耗品販売を目的に、株式会社エポリードサービス設立 環境制御型SPMを商品化(SPA-300HV)
1994 分解能10nmのイオン顕微鏡を商品化(SMI9000シリーズ)
装置の動作確認録等の自動化を実現した高速液体クロマトグラフを発売(L-7000シリーズ・LaChrom)
1993
1992 マイクロフォーカス管球を採用し世界で 初めて微小部φ50μmコリメータを実現(SFT3000シリーズ)
1991 原子間力顕微鏡(AFM)を商品化(SFA300)
パソコンによるデータ処理を実現した偏光ゼーマン原子吸光光度計(Z-8200)
1990
1989 固体試料の測定に対応できる分光光度計を発売(U-4000)
1988 自社開発の半導体検出器で、微小部対応の蛍光X線膜厚計を世界で初めて商品化(SFT8000)
1987 STMを日本で初めて商品化 (SAM3000)
パソコンにより、一括制御ができる高速液体クロマトグラフを発売(L-6000シリーズ)
1986 電子技術総合研究所の指導の下、日本で初めてSTMを用いての原子像観察(NbSe2)に成功
FIB分解能50nmのFIB断面加工観察装置を商品化(SMI8000シリーズ)
1985 集束イオンビーム(FIB)によるデポジション機能を用いた0.1ミクロンデザインルール対応の白欠陥修正専用機を商品化(SIR1000)
1984 固体試料の測定に対応できる分光光度計を発売(U-4000)
1983 内臓コンピュータによる高速データ処理を実現した偏光ゼーマン原子吸光光度計を発売(Z-6000/7000/8000シリーズ)
1982
1981
1980 国産初のコンピュータ制御によるシーケンシャル型ICP発光分光分析装置を商品化(JY-38PⅡ)
1979 世界で初めて水平差動型TG/DTAを製品化(SSC560G、SSC560GH)
1978 放射性同位元素不使用で卓上型の微小部対応蛍光X線膜厚計を世界で初めて商品化(SFT155/156)
世界で初めて熱分析装置にコンピュータ技術を導入(SSC560)
1977
1976 世界初の偏光ゼーマン法を採用した原子吸光分光光度計を発売(170-70形)
1975
1974 断熱走査型微小熱量計を商品化(SSC510)
日立初の高速液体クロマトグラフ発売(634形)
1973 SIIが、科学機器事業の製造拠点として静岡県駿東郡に小山事業所を設置
1972 SIIが、分析・計測機器の製造販売を目的に、科学機器部を設置
1971 商品ラインとして、原子吸光分光光度計、熱分析装置、蛍光X線膜厚ラインゲージを開発
1970 第二精工舎(現セイコーインスツル、以下SII)が、ウォッチ以外の新規事業分野開発のため、社内にRDセンターを設置し、分析・計測機器事業分野(科学機器事業)の研究開発を開始
1969
1968
1967
1966 世界最高水準の分析感度を持つ専用機としての原子吸光分光光度計を発売(207形)
1965
1964
1963
1962 分光器にグレーティングを採用した汎用の分光光度計を発売(139形)
1961
1960 液体クロマトグラフを京都大学へ納入(アミノ酸分析用特注品KFL-1形)
1959
1958
1957 フィルタ式の蛍光光度計を発売(FPL-2)
1956 ダブルフレームを採用した自記分光光度計を発売(EPS-1)
1955
1954
1953
1952
1951
1950
1949 電気計測による光電光度計を開発(EPO-A形)
1948
1947 日立グループの商事会社として株式会社日之出商会(後に日製産業株式会社、現株式会社日立ハイテク)設立