蛍光X線膜厚計 FT160シリーズ
微小・微細な電子部品などに施されたナノオーダーレベルのめっき膜厚測定に対し、ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載し、高精度・高スループットを実現した蛍光X線膜厚計最新モデルです。
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取扱会社：株式会社 日立ハイテクサイエンス
特長
X線光学系にポリキャピラリを採用
約30 μmφに高輝度な１次X線を照射し高精度測定を実現しました。
検出器系に高性能半導体検出器（SDD）を採用
高計数率半導体検出器（SDD）で高精度測定を実現しています。
画像処理ソフトによる自動測定アシスト機能
正確な多点自動測定による高効率化を実現しています。
シンプルなソフトデザインとヘルプ機能で簡便操作
日々のルーチン測定は、登録したアプリを用いて簡単に行うことができます。
作業者の安全・安心に配慮した装置デザイン
X線漏洩のリスクが非常に少ない密閉型筐体を採用しています。また、扉開口部を大きくし、試料の視認性や操作性を追求しました。
仕様
| 型式 | FT160S | FT160Sh | FT160 | FT160h | FT160L | FT160Lh |
|---|---|---|---|---|---|---|
| X線発生源 | 標準 | 高エネルギー | 標準 | 高エネルギー | 標準 | 高エネルギー |
| Mo | W | Mo | W | Mo | W | |
| 測定対象元素 | 13Al から92U | |||||
| 試料台(mm) | 300(W) × 245(D) | 420(W) × 320(D) | 620(W) × 620(D) | |||
| 測定可能試料サイズ(mm) | 300(X) × 245(Y) × 80(Z) | 400(X) × 300(Y) × 100(Z) | 600(X) × 600(Y) × 20(Z) | |||
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