多槽バッチ式ウェットステーション

バッチ式洗浄・剥離・エッチング処理に適応した装置です。ワークのディップ処理から乾燥までの連続処理が可能です。

特長

• 薬液ディップ(浸漬）処理から乾燥までの一貫処理が可能
• キャリア搬送とキャリアレス搬送の2typeを選択可能
• ご要求の処理目的・スループットに合わせたフルカスタム対応が可能
• 設置環境に合わせたレイアウト構築が可能
  インラインtype・スルーザウォールtype・その他
• Siウェーハ・ガラス・GaAsを始めとした化合物ウェーハなど、各種ワークに対応
• 小径～大径ウェーハ・小型～大型角基板処理まで対応可能
• 乾燥方式を選択可能
  スピンドライ乾燥・IPAベーパー乾燥・熱風乾燥・その他オリジナル乾燥方式の搭載が可能
• 無機酸・無機アルカリ・有機酸・有機アルカリ・機能水など複数薬液に対応が可能
• 超音波洗浄・揺動機構・回転機構・キャリアストッカーなど、豊富なオプション機能を搭載可能

構成例

製作事例