集束イオンビーム（FIB/FIB-SEM）

「Ethos」は、冷陰極電界放出形電子銃と電磁界重畳型レンズの組合せにより、低加速電圧での更なる高分解能観察を実現しました。最先端デバイスから生物組織、鉄鋼などの磁性材料まで幅広い分野の解析をサポートします。また、多数のポートを備えた大型試料室は様々な分析ニーズに対応し、大型ステージとの組合せで、直径150 mmの試料の全域加工観察も可能です。マイクロサンプリングやトリプルビーム、姿勢制御機能を組み合わせることで、高品位TEM試料作製にも対応します。

SEMカラムとFIBカラムを直角に配置した、三次元構造解析に最適なFIB-SEMです。電界放出形電子銃と独自のジオメトリーにより、加工観察位置でも高分解能SEM観察を実現しています。3D-EDSや3D-EBSDも、ステージを移動することなく、実施可能です。マイクロサンプリングやトリプルビームを組み合わせることで、TEMやアトムプローブの高品位試料作製にも対応できます。

高品位TEM試料作製を追及したFIB-SEMです。電界放出形電子銃と高感度信号検出系により、高コントラスト・リアルタイムのSEM加工終点検知を実現しました。姿勢制御技術やAr/Xeトリプルビームにより、試料作製時のアーティファクトやダメージも大幅に低減可能です。また、自動マイクロサンプリングを組み合わせることで、TEM試料作製のスループットを大幅に向上させることができます。

マイクロサンプリングはFIB加工装置内で、イオンビームと微小プローブを用いて、バルク試料の任意の位置からマイクロサンプルを摘出することができるシステムです。

CADナビゲーションシステム（CAD-Navi）を使えば、SEMもしくはFIBで観察しているLSIの配線が、CADデータのどの配線に対応するのかを確認することができます。

集束イオンビーム（FIB）修正技術を導入したFPD用フォトマスク欠陥修正装置です。チャンバ内にローテーション機構を採用したことにより、スペース効率を高め、設置面積を抑えました。