CADナビゲーションシステム NASFA (Navigation System of Failure Analysis)
CADナビゲーションシステム(CAD-Navi)を使えば、SEMもしくはFIBで観察しているLSIの配線が、CADデータのどの配線に対応するのかを確認することができます。
CADデータ上の座標位置を指定することにより、装置のステージがその座標に連動し、対応する箇所のSEM像(FIBの場合SIM像)を表示します。
またCADデータとSEM像を重ね合わせて表示(オーバレイ表示)ができますので下層配線の位置確認が容易に行なえ、解析作業の大幅な効率アップが望めます。
システム構成例
FE-SEM/FIB装置とCADナビゲーション(CAD-Navi)とのシステム例
S-4800
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