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CADナビゲーションシステム NASFA （Navigation System of Failure Analysis）

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CADナビゲーションシステム（CAD-Navi）を使えば、SEMもしくはFIBで観察しているLSIの配線が、CADデータのどの配線に対応するのかを確認することができます。
CADデータ上の座標位置を指定することにより、装置のステージがその座標に連動し、対応する箇所のSEM像（FIBの場合SIM像）を表示します。
またCADデータとSEM像を重ね合わせて表示（オーバレイ表示）ができますので下層配線の位置確認が容易に行なえ、解析作業の大幅な効率アップが望めます。

価格：お問い合わせください

取扱会社：株式会社 日立ハイテク

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システム構成例

FE-SEM/FIB装置とCADナビゲーション（CAD-Navi）とのシステム例

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CAD-Navi構成品目：NASFA（ソフト）/ワークステーション/PC

FIB

SIM像
SIM像
CADデータ
CADデータ
オーバーレイ表示（SIM像+CADデータ）
オーバーレイ表示（SIM像+CADデータ）

S-4800

オーバーレイ表示（SEM像+CADデータ）
オーバーレイ表示（SEM像+CADデータ）
CADデータ
CADデータ

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