高分解能ショットキー走査電子顕微鏡
SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus
求められる高性能と汎用性を融合したSE series
SU3900/SU3800SE Seriesは、FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
さらに幅広い分野からの測定ニーズに応えるべく、SE Seriesとして4つのモデル(2タイプ2グレード)をラインアップしました。電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。
* 装置写真はオプション付属の状態です。
価格：お問い合わせください
取扱会社：株式会社 日立ハイテク
特長
できることの拡大、大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM
電子顕微鏡による形状評価はあらゆる材料評価・解析の入口でもあり、可能な限り本来の形状を有したまま試料を搭載し観察をしたい要求が常に存在します。
SU3900/SU3800SE Seriesは非導電性試料に対しては、導電性処理(金属コーティング)をすることなく、且つ大型重量物試料に対しては切断等の破壊処理をせずそのまま試料台に搭載して、多角度からの観察が可能となる高剛性多目的試料室を有しております。
見えなかったものが見える、一つ上の高分解能・極表面観察
新開発のショットキー電子銃を搭載することで、高加速電圧・低加速電圧いずれの領域においても解像度を向上させました。さらに、極最表面の詳細観察に対する要望にこたえるため、アドバンストモデル(SE Plus)も準備いたしました。
また、組成・凹凸情報の取得には取得信号切替可能な低加速高感度反射電子検出器も標準搭載。
オプションのUVD検出器と合わせて多種情報取得による多面解析が可能となります。
ユーザビリティーを支える、自動化・サポート機能
SU3900/SU3800SE Seriesは光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。
また、オプション機能【EM Flow Creator】を用いることで、連続画像取得などの操作の自動化サポートを行います。
倍率やステージ位置などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM機能をブロック化し、それらを自由に組み合わせることで一連の観察レシピを作成し、お客様それぞれの観察レシピを作成することができます。
レシピはブロックをドラッグ＆ドロップし、フローのように配置することで作成可能で、作成したレシピを実行することで自動観察が可能になります。
①所定の領域を識別し、低倍画像を×300で撮影
②同一部位の中倍率像を×1,000で撮影
③同一部位の高倍率像を×5,000で撮影
アプリケーション事例
鉄線材破面
延性破壊による微小空洞が確認できます。
SUS316
転位を示唆する線状のコントラストが確認できます。
電子基板
低倍率・高傾斜観察により
実装部品の立体形状・配置が確認できます。
積層セラミックスコンデンサ断面
ニッケル電極/誘電体層の組成・結晶コントラストが観察できます。
酸化亜鉛粒子
50 nm程度の微小粒子や立体的な形状が確認できます。
High Entropy Carbide Film
組成/形状の異なる複数の粒子の分布が確認できます。
リチウムイオン電池正極材
正極材粒子と周囲のバインダ分布が確認できます。
リチウムイオン電池負極材
負極材極最表面に存在するバインダーが確認できます。
仕様
| 項 目 | SU3900SE/SE Plus | SU3800SE/SE Plus | |
|---|---|---|---|
| 電子光学系 | 二次電子分解能 | 0.9 nm@30 kV | |
| 2.5 nm@1 kV | |||
| 1.6 nm@1 kV(*1) | |||
| 倍率 | 5～600,000× | ||
| 電子銃 | ショットキーエミッター | ||
| 加速電圧 | 0.5 kV～30 kV | ||
| 照射電圧(*1) | 0.1 kV～2 kV | ||
| 照射電流 | 最大150 nA | ||
| 真空系 | 低真空モード | 6～150 Pa | |
| 検出器 | 標準検出器 | 二次電子検出器(SED) | |
| TOP検出器(TD) (*2) | |||
| 5分割反射電子検出器(BSED) | |||
| オプション検出器 | 高感度低真空検出器(UVD) | ||
| 試料ステージ | ステージ駆動方式 | 5軸モータードライブ | |
| 可動範囲 | |||
| X | 0～150 mm | 0～100 mm | |
| Y | 0～150 mm | 0～50 mm | |
| Z | 3～85 mm | 3～65 mm | |
| T | -20～90° | ||
| R | 360° | ||
| 試料室 | 搭載試料サイズ | 最大300 mm径 | 最大200 mm径 |
*1 オプション
*2 SE Plus仕様のみ
関連情報
