ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000
特長
あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」
EMWizadのスタンダードモードでは使用される頻度の高い5つのビーム/検出器条件を用意。
選択画面から条件を選択することで光軸調整などの作業なしにベストな光学条件で画像を取得
試料位置表示をよりわかりやすく表示する「マルチファインダー」搭載
サンプルへの制限を極力低減したデザイン
- 大型試料（～200 mmΦ、～80 mmH）対応のドローアウト試料室を採用、試料室を開放しても対物絞りの汚染に配慮した構造です
- 加熱・引張りステージなどの特殊アプリケーションにも簡便に対応可能
- コニカル対物レンズにより、大型磁性体試料観察やEBSD測定もよりスムーズに行えます
強力な光学系・検出系
- 低エネルギー観察時の分解能は1.6 nm@1 kV*1
- 真空/低真空ともに照射電流は最大200 nA以上*2
- 形状・組成・結晶学的情報を抽出する新開発反射電子検出器搭載*3
*1 EXリターディングモード＋TOP検出器オプション搭載時
*2 低真空モードはオプションです
*3 反射電子検出器はオプションです（低真空モード構成では標準付属）
仕様
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 保証分解能 | 1.2 nm（加速電圧30 kV） 3.0 nm（加速電圧1 kV） 2.0 nm（照射電圧1 kV：リターディングモード：オプション） 1.6 nm（照射電圧1 kV：EXリターディングモード：オプション） 3.0 nm（加速電圧15 kV：低真空モード：オプション） |
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| 倍率 | 写真倍率：10～600,000x モニター倍率：18～1,000,000x （800×600画素） |
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| 電子銃 | 電子銃 | ZrO/Wショットキーエミッション電子銃 |
| 加速電圧 | 0.5～30 kV（0.1 kVステップ） | |
| 照射電圧 | 0.1～20 kV（リターディングモード：オプション） | |
| 最大照射ビーム電流 | 200 nA以上 | |
| 検出器 | 高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器（Lower検出器） | |
| 低真空モード*2 | 圧力可変範囲：10～300 Pa | |
| 試料ステージ | ステージ制御 | 5軸モータ駆動 |
| 移動範囲 | X：0～100 mm Y：0～50 mm Z：3～65 mm T：-20～90° R：360° |
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| 試料サイズ | 最大～200 mmΦ、最高～80 mm | |
| 検出器オプション |
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*1 リターディングモードと組み合わせ
*2 低真空モード付属の場合は標準検出器です
観察例
生物
ラット前脳
試料ご提供：自然科学研究機構 生理学研究所
大脳神経回路論研究部門
窪田 芳之 様
脊髄神経節ニューロン
試料ご提供：新潟大学大学院医歯総合研究所
甲賀大輔 様*、 牛木辰男 様
* 現旭川医科大学 医学部 顕微解剖学分野
材料
マルチウォールカーボンナノチューブの表面微細構造
ネオジム磁石断面
散乱角選択が可能な反射電子検出器を搭載。
組成と形状を弁別した像取得が可能です。
左：組成コントラスト主体で粒界相が明瞭に観察されています。
右：形状主体のコントラストにより微細な形状差が観察されています。
加熱ステージを使用してのその場観察
試料：金薄膜
試料ご提供：東京工業大学 機械制御システム専攻 吉野雅彦様 寺野元規 様
リチウムイオン材料の3D観察 SBF-SEMの材料科学への応用
3次元再構築像
橙：活物質、青：PvdF
半導体
Si上のn-GaN
反射電子像：15 kV
極微デバイス研究センター機能システム 教授
江川 孝志 様
トピックス
・技術機関誌 SI NEWSの関連記事のご案内
1958年の創刊以来、SI NEWS（エスアイニュース）は、弊社製品を使用した社内外の研究論文、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。
ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000の記事のご案内です。
「戦後イノベーション100選」は、公益社団法人発明協会が創立110周年を迎えたことを記念し、戦後日本で成長を遂げ、産業経済の発展に大きく寄与したイノベーションを選定したものです。
日立ハイテクの「電界放出形電子顕微鏡」は、7月8日に行われた第一回発表において、戦後復興期から高度経済成長期までの38件のイノベーションの一つとして選定されました。
日立ハイテクは、今回の「戦後日本のイノベーション100選」に選定された電界放出形電子顕微鏡をはじめ、今後も優れた技術・製品の開発を通じて、安心・安全で快適な社会の実現および世界の産業の発展に貢献していきます。
-日立電界放出形走査電子顕微鏡／キュレーション（惑星物質試料受け入れ）設備のご紹介-
46億年前の太陽系の化石ともいわれる小惑星イトカワの微粒子。 地球物質の影響を遮断した環境でのナノ解析がスタートしました。
SU5000が「2014年度 グッドデザイン賞」を受賞
日立ハイテクのショットキー走査電子顕微鏡 SU5000が、このたび2014年度グッドデザイン賞（主催：公益財団法人日本デザイン振興会）を受賞しました。
SU5000は使いやすさと安全性を追求しながら「体験」を提供するデザインに取り組んだ結果、特に「専門的な領域の製品であるが、ユーザーインターフェースが洗練されており操作方法のナビゲーションなど、ユーザビリティへの配慮が優れている。」として高く評価されました。
弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。
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電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。
電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。
年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。
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