超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU8700
SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。
* 装置写真はオプション付属の状態です。
中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。
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取扱会社：株式会社 日立ハイテク
特長
多様な観察条件を可能にするショットキーエミッター搭載FE-SEM
100Vまでの低加速電圧と最大200nAまでの照射電流
低真空モード対応
多様な情報を取得する検出系
スループット向上を支援する自動化機能搭載
SU8700は光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。また、オプション機能 ”EM Flow Creator”では、連続画像取得などの操作の自動化をサポートします。倍率やステージ位置などの条件設定、フォーカス/コントラスト調整などのSEM機能をブロック化し、それらを組み合わせることで一連の観察レシピを作成します。
レシピはブロックをドラッグ＆ドロップし、フローのように配置することで作成可能で、レシピを実行することで自動観察を開始します。
ユーザビリティを支援する種々の表示機能
SU8700はデュアルモニターに対応。デュアルモニター使用時は1,280 x 960画素の画像を2画面で表示できるほか、最大6チャンネルの信号を表示することが可能です。
また最大40,960 x 30,720画素での画像保存（*）により、広い領域から高精細な情報を取得することが可能になりました。
ラットの大脳皮質 超薄切片の高画素観察事例
電子顕微鏡室・窪田グループ 窪田 芳之 様
（*） オプション
仕様
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 電子光学系 | 二次電子分解能 | 0.6 nm@15 kV |
| 0.8 nm@1 kV | ||
| 0.9 nm@0.3 kV | ||
| 倍率 | 20～2,000,000 x | |
| 電子銃 | ショットキーエミッター | |
| 加速電圧 | 0.01 kV～30 kV 0.01～0.09 kV（*3） |
|
| 照射電圧（*1）（*3） | 0.01～7 kV | |
| 照射電流 | 最大200 nA | |
| 検出器 | 標準検出器 | Upper 検出器 (UD) |
| Lower 検出器 (LD) | ||
| オプション検出器 | Middle検出器（MD） | |
| 半導体型反射電子検出器（PD-BSED） | ||
| 高感度低真空検出器（UVD） | ||
| STEM 検出器 | ||
| オプションアクセサリー（*2） | エネルギー分散型X線検出器 (EDS) | |
| 電子線後方散乱回折像検出器 (EBSD) | ||
| 真空系 | 低真空モード（*3） | 5～300 Pa |
| 試料ステージ | 制御 | 5軸モータードライブ |
| 可動範囲 | ||
| X | 0～110 mm | |
| Y | 0～110 mm | |
| Z | 1.5～40 mm | |
| T | -5～70° | |
| R | 360° | |
| 試料室 | 搭載試料サイズ | 最大 φ150 mm |
| 試料交換室 | 最大 φ150 mm | |
（*1） リタ―ディングモード使用時
（*2） 取付可能な分析機器
（*3） オプション
関連情報
