六フッ化硫黄（SF6）ガスの回収・分解
透過電子顕微鏡（TEM）*1の電子銃部で高電圧絶縁用に使用されている六フッ化硫黄（以下SF6ガス）は、優れた電気絶縁性能を有します。しかし、SF6ガスは地球温暖化の原因となる温室効果ガスの一つに指定されており、炭酸ガスの約22,800倍相当の温室効果を持つとされています。地球温暖化防止のため、温室効果ガスの放出削減が求められている中、当社では、電子銃メンテナンス時や装置廃棄時に発生する使用済みのSF6ガスを効率よく回収し、分解リサイクル処理*2を行っています。
*1 回収対象装置：加速電圧200、300kVの日立透過電子顕微鏡
*2 回収したSF6ガスは提携業者にて分解し、フッ素製品の原料に戻す処理を行うことで、循環型のリサイクル環境構築に取り組んでいます。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
サービスの流れ
SF6ガスとは
無毒、無臭、無色の熱的、化学的に安定した気体で耐熱性、不燃性、非腐食性および高い電気絶縁性がある。
密度 6.164 g／L（ 常温（25℃）、常圧（100ｋPa））
比重 5.106（ 空気を１とした場合）
SF6ガス回収・分解処理サービスの流れ
事例
削減事例
主な温室効果ガス
| 温室効果ガスの種類 | 地球温暖化係数（GWP）* |
|---|---|
| 二酸化炭素（CO2) | 1 |
| メタン（CH4) | 25 |
| 一酸化二窒素（N2O) | 298 |
| ハイドロフルオロカーボン類（HFCｓ) | 1,430など |
| パーフルオロカーボン類（PFCｓ) | 7,390など |
| 六フッ化硫黄（SF6) | 22,800 |
| 三フッ化窒素（NF3) | 17,200 |
*
各温室効果ガスが地球温暖化にもたらす効果の程度を、二酸化炭素の当該効果に対する比で表したもの(GWP;Global Warming Potential)
出典：JCCCA."温室効果ガスの特徴". 全国地球温暖化防止活動推進センターホームページ, http://www.jccca.org/ ,（参照2016-9-5）
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