SEM使用来歴管理プログラム：日立ハイテク
SEMの使用来歴と、装置状態の管理に！
ユーザ名とパスワードを入れてSEMを起動。いつ、だれが、どのような条件で使用したのかを管理します。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
特長
SEM使用来歴管理プログラム（Ver.3）の特長
SEMの使用来歴と、装置の状態を管理します。ユーザー名とパスワードを入れてSEMを起動することで、いつ、誰が、どのような条件で使用したかを管理することができます。
仕様
基本仕様
| 基本機能 | インストール先 | 対象SEMの制御PC | |
|---|---|---|---|
| 主な機能 | ①SEMを使用した来歴の保存、表示 ②SEM稼動率の表示 ③SEM予約の管理 |
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| 来歴管理項目 | ①SEMログオン・ログオフ ②HVオン・オフ ③SEM使用ユーザ情報 ④SEM装置状態（加速電圧／エミッション電流／フラッシング強度／引き出し電圧／各真空度／ベーキング履歴／オプション使用状況／使用したホルダ／備考） |
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| 管理数上限 | ユーザ名：1,000件／部署名：100件 | ||
| 記録行数 | 最大10,000行（数ヵ月分のログ*1） ＋バックアップファイル最大1,000,000行 |
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| 対応機種 | SU9000、SU8000シリーズ、S-5500、S-4800（WindowsⓇ 7版） | ||
| 価格 | お問い合わせください | ||
| 追加機能 | 管理PC | インストール先 | 事務スペースなどにある、SEMとネットワークでつながるPC（お客様準備品） |
| 対応OS | WindowsⓇ 7 Professional 32bit 日本語版 | ||
| 価格 | お問い合わせください | ||
| 操作PC | インストール先 | 事務スペースなどにある、管理PCとネットワークでつながるPC（お客様準備品） | |
| 対応OS | WindowsⓇ 7 Professional 32bit 日本語版 | ||
| 追加ライセンス価格 | お問い合わせください | ||
*1 SEMの使用頻度、条件によって異なります。
適応事例
データを管理PCに格納する場合の構成例
*1 管理PCソフト（オプション）が必要。
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