日立プラズマエッチング装置保守契約のお勧め
エッチング装置の安定稼動には、予防保全（オーバーホール）が必要です。
処理工程上 反応性生成物（デポ物）による汚れが多く発生し、稼動時間とともにエッチング室内，排気ラインを主に装置内へ堆積が進行していきます。
反応性生成物の堆積は、異物増加をはじめ 真空リーク，プロセス性能の低下など さまざまなトラブルの要因となります。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
メリット
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稼動率向上に貢献します
装置の信頼性が上がり稼動率が向上します。 -
個別契約よりお得です
パッケージ料金は個別料金より割引料金となっています。 -
トラブル時に迅速に対応します
装置のトラブル等、緊急時には優先してサービスエンジニアを派遣します。 -
保守部品が早く届きます
緊急部品や予備品の供給を優先的に行います。 -
装置の延命が図れます
定期的に点検、清掃、部品交換ができるため装置の延命が図れます。 -
お気軽にご相談ください
改善計画等のご相談、技術コンサルタントの他、現地運転教育も承ります。 -
最新情報が入手できます
最新の技術情報、部品情報をご提供します。 -
装置はいつもフレッシュ
保守、点検履歴が保守来歴管理データベースにフィードバックされているため、部品交換実績、装置の稼動診断、予防保全等、装置安定稼動維持に役立ちます。
サービス内容
豊富なサービスメニューでお客様のご希望にお応えします
| フルサービス | 簡易サービス | 備考 | |
|---|---|---|---|
| 定期点検 | 3ヵ月点検、6ヵ月点検および1年点検 | 6ヵ月点検、1年点検 | |
| オーバーホール | ご使用期間、ご使用頻度などによりメニューの中から選択 | 別途 | 使用来歴、保守来歴により最適メニュー推奨 |
| オンコール | 含む | 別途 | 2回/月（最大） |
| 交換部品供給 | 定期点検、オーバーホールのメニューに含む部品 | 簡易定期点検のメニューに含む部品 | 左記以外は個別精算 |
| コンサルティングなど | 技術コンサルティング、現地運転教育、技術情報の提供 | 技術情報の提供 |
定期点検
定期点検の内容
| 3ヵ月点検 | 6ヵ月点検 | 1年点検 | |
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作業内容 |
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それぞれの装置に適切な保守プログラムをご提案します。
サービス内容は、別途ご相談ください。
