형광X선도금두께측정기 FT110A
자동 위치 결정 기능에 의해, 시료스테이지 위에 샘플을 올려놓는 것만으로, 시료 관찰 광학계의 초점을 자동적으로 수초 이내에 맞출 수 있습니다. 이것에 의해, 종래에는 수동으로 실시했었던 초점 조정의 조작이 없어져, 측정과 관련되는 처리량이 현격하게 향상했습니다.
특징
1. 시료를 올려놓는 것만으로 측정이 가능
자동 위치 결정 기능에 의해, 샘플을 올려놓는 것만으로, 수초 이내에 시료 관찰 광학계의 포커스를 맞춥니다.
2. 50 nm의 박막Au도금두께를 10초에 측정
최적의 레이아웃으로 미소 빔의 고감도화를 실현하여, 미소 콜리메이터(φ0.1, 0.2 mm)에서의 도금두께 측정정도가 향상했습니다.
3. 표준시료 없이 측정이 가능
박막 FP소프트 확충에 의해, 두께 표준 물질 없이도 측정이 가능합니다. 다층막이나 합금막의 측정을 간단하게 실시할 수 있습니다.
4. 광역관찰시스템에 의해 간단 위치 결정
광역 관찰 시스템에 의해, 시료 전체상(최대 250×200 mm)을 관찰하여, 특정부위의 측정 위치를 용이하게 지정할 수 있습니다.
사양
| 타입 | FT110A |
|---|---|
| 측정원소 | 원자번호Ti（22）～Bi（83） |
| X선원 | 소형공냉식X선관구 관전압：50kV 관전류：40～1000µA(가변) |
| 검출기 | 비례계수관 |
| 콜리메이터 | ○형： 0.1 mmφ、0.2 mmφ 기타2종 |
| 시료관찰 | CCD카메라（광역관찰가능） |
| 초점조정 | 레이저포인터(자동) |
| 필터 | 1차필터： 자동전환 |
| 시료스테이지 | [고정] 535×530 mm [전동] 260×210 mm (이동량 X:250 mm, Y:200 mm) |
| 측정소프트 | 박막FP법 （최대5층막、10원소）、검량선법 |
| 안전기능 | 시료도어 인터록、시료의 충돌방지기능、장치진단기능 |
옵션
- 화상처리소프트
- 정량FP소프트（재료조성분석）
- 정량검량선소프트（도금액분석）
