형광X선도금두께측정기 FT230
제품 검사 현장에서 측정 작업의 효율화를 위해 측정 조건의 각종 설정을 단축하고 간소화시켰습니다.
측정 레시피의 자동 선택, 측정 장소 확인/시료 관찰상 초점 조정의 신속화는 물론, 신규 개발 소프트웨어 "FT Connect"를 채용함으로써 측정 장소의 특정을 용이하게 하는 동시에 측정 조작 간략화를 실현하고 있습니다.
특징
스마트하고 심플한 인터페이스
FT230은 스마트링크, X-ray Station 등 확립된 소프트웨어에 대한 40년 이상의 경험과 사용자 피드백을 기반으로 한 새로운 소프트웨어 FT Connect를 최초로 탑재한 제품입니다.
FT Connect에서는 특히 인터페이스를 크게 개선했습니다.종래와 같은 설정 항목이나 옵션 기능으로 가득 찬 화면이 아니라 시료 이미지와 분석 결과의 표시를 우선한 화면 구성으로 되어 있습니다.이를 통해 측정 위치를 올바르게 특정하고 결과를 신속하게 분석하는 것이 훨씬 쉬워졌습니다.
사용자가 많은 작업을 수행하는 루틴 측정 화면에는 각종 설정, 측정 시작 버튼, 결과 해석 기능이 알기 쉽게 표시되어 있어 검량선 작성부터 보고서 템플릿 및 데이터 처리 규칙 설정, 더 복잡한 분석 프로그램 작성까지 모두 클릭 몇 번만으로 쉽게 수행할 수 있습니다.
새로운 이미지 인식 기능 "Find My Part"
FT230은, 새롭게 개발된 화상 인식 기능인 Find My Part를 가지고 있습니다.측정 장소의 이미지와 레시피를 연결한 라이브러리를 기반으로 측정 위치 조정, 분석 조건 선택, 결과 표시 및 보고서 작성 등이 자동화되어 가장 번거롭고 오류를 일으키기 쉬운 작업으로부터 측정자를 개방합니다.
탑재된 라이브러리는 쉽게 편집할 수 있으며 작업 변화에 따라 새로운 시료와 새로운 레시피를 추가할 수 있습니다.
넓은 시료 관찰 화면
FT230은 효율적인 화상 인식 기능과 더불어 모니터의 대부분을 차지하는 넓은 시료 관찰 화면을 가짐으로써 시료 셋업 시의 스트레스를 줄입니다. 모니터 화면 대부분에 시료 이미지가 표시되기 때문에 오퍼레이터는 표면의 특징을 보다 쉽게 확인할 수 있고 적절한 분석 영역을 핀포인트로 특정할 수 있습니다.
또한 광시야 카메라 옵션을 선택할 수도 있습니다. 협역·광역 2대의 카메라를 병용함으로써 하나의 시료상의 측정 장소를 이동하거나 스테이지상의 복수 시료 사이를 이동하거나 하는 것을 신속하게 실시할 수 있습니다. 이것에 의해, 예를 들면 대형의 회로 기판이나 전자 부품 등 비슷한 패턴이 나열되어 있는 시료라도, 목적의 영역을 보다 신속하고 용이하게 특정할 수 있고, 세세한 부분을 "놓치는" 일 없이 측정할 수 있습니다.
를 일정하게 유지하는 것이 필수적입니다. 약간의 변동이라도 결과의 신뢰성에 영향을 미칠 수 있습니다.
FT230에서는 오토 어프로치와 오토 포커스 두 가지 자동 초점 조정 옵션을 선택할 수 있도록 함으로써 측정 준비에 드는 번거로움을 줄였습니다.
오토 어프로치는 소정의 작동 거리 까지 X선 관구를 자동으로 이동시키는 기능입니다. 또, 오토 포커스는, 관찰하고 있는 시료에 대해서 자동적으로 카메라의 초점을 조정하는 기능입니다. 이러한 기능 사용시에는 작동 거리에 따른 도금 두께 보정이 자동적으로 이루어지기 때문에 작동 거리가 변화하더라도 정확한 결과를 얻을 수 있게 됩니다. 이를 통해 형상이 복잡한 시료나 높이가 다른 시료를 측정하는 경우에도 분석 시간이 크게 절약됩니다 .
사양
표준형+고정스테이지 | 표준형+전동스테이지 | 슬릿형+전동스테이지 | |
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●X선검출계 | |||
X선검출부 | 실리콘드리프트검출기(SDD) | ||
●X선발생부 | |||
X선조사방법 | 수직하향X선조사(시료의 윗면을 측정) | ||
관구타겟 | W | ||
관전압 / 관전류 | 50kV / 최대1mA | ||
조사경 | 4종(하기의 구성에서 선택) 1 : 0.1φ, 0.3φ, 0.5φ, 0.05x0.25 mm 2 : 0.1φ, 0.2φ, 0.3φ, 0.5φ mm 3 : 0.1φ, 0.3φ, 0.01x0.25, 0.05x0.25 mm 4 : 0.05φ, 0.1φ, 0.3φ, 0.01x0.25 mm 5 : 0.1φ, 0.3φ, 1φ, 0.05x0.25 mm |
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●시료스테이지 | |||
테이블플레이트사이즈(mm) | 540(X)×540(Y) | 270(X)×210(Y) | 900(X)×600(Y) |
스트로크(mm) | - | 250(X)×200(Y) | |
●측정가능시료 | |||
시료실에 들어가는 최대 시료 크기(mm) | 500(X)×400(Y)×150(Z) | ||
●외형치수・질량 | |||
외형치수(mm) | 600(X)×815(Y)×745(Z) | 900(X)×931(Y)×745(Z) | |
질량(kg)(부속품、옵션제외) | 140 |