X선 이물 해석 장치 EA8000A
리튬 이온 이차 전지와 연료 전지에서 문제가 될 가능성이 있는 20 µm급의 미소한 금속 이물을 고속 검출, 원소 동정하는 검사 장치입니다. 검사 조건을 선택한 후 측정을 개시하면 X선 투과상을 촬영 한후 금속 이물 검출, 그 원소의 동정까지 자동으로 실행 할 수 있어, 제조 현장에서의 고장 해석・검사로서 활용되고 있습니다.
특징
1. 250×200 mm사이즈의 시료에서 20 µm급의 금속 이물을 수분내에 검출
예를들면, 250×200 mm(약 B5사이즈)의 전지 전극판에서 20 μm정도의 미세 금속 이물을 검출하기 위해서는 종래의 X선 투과 검사 장치에서 10시간 정도의 촬영 시간이 필요했습니다. 히타치하이테크사이언스에서는 새로운 X선 투과법의 개발에 의해 촬영 시간을 크게 단축하는데에 성공하여 검출 속도를 종래보다 100배 이상 빠른 3~10분으로 단축했습니다.
2. 화상처리에 의한 자동 이물 검출
고속으로 촬영한 250×200 mm의 X선 투과상의 전면에 대해서 고속으로 화상 처리를 하고 이물 포인트를 자동 검출합니다.
3. 검출된 이물 포인트를 자동으로 원소 동정
자동 검출된 이물 포인트만을 형광 X 선 매핑 하여 원소를 자동으로 동정합니다.
4. 전극판 내의 미세 금속 이물도 원소 동정 가능
시료 중에서 검출한 금속 이물에 대해서, 자동으로 형광 X 선 법에 의한 원소 동정을 실시합니다. 예를 들면 전극판에 존재할 가능성이 있는 20 µm정도의 미세 금속 이물의 검사에서 종래에는 샘플 표면에 존재하는 것만 동정이 가능했습니다. 이것은 내부에 존재할 경우 이물에서 발생한 형광 X선이 소재 자체에 의해서 흡수되어 신호 강도가 미약하게 되기 때문입니다. 본 장치에서는 독자적인 고휘도 X 선 광학계의 탑재에 의해 전극판・유기 필름 내부에 포함되는 20 µm정도의 미세 금속 이물질에 대해서도 원소 동정할 수 있습니다.
5. 일체형으로 작업 효율의 향상
금속 이물의 검출 스피드, 원소 동정 속도가 종래 기술에 비해서 월등하게 빠르며 또한 현미경을 포함하여 그것들이 하나의 장치 내에 장착되어 있어, 각 유닛이 연계되어 전자동으로 결과가 출력됩니다. 이것들에 의해서 오퍼레이터는 시료의 세팅만으로 측정 결과를 얻을 수 있어서 작업 효율이 크게 향상했습니다.
사양
| 측정원소 | 원자 번호Mg（12)～U（92) |
|---|---|
| 시료형상 | 분체・고체 |
| 선원 | 수냉식 X 선 관구(투과 X선) 소형 냉각식 X 선 관구(형광 X선) |
| 관전압：15、17.5、20 kV(투과 X선)、45 kV(형광 X선) | |
| 관전류：1～35 mA(투과 X 선)、900 µA(형광 X선) | |
| X선조사방향 | 하면 조사형(투과 X선) 상면 조사형(형광 X선) |
| 검출기 | 에리어 이미지 센서(투과 X선) Vortex(형광 X선) |
| 분석영역 | 30 µmφ(형광 X선) |
| 시료관찰 | 고해상도 CCD카메라 |
| 필터 | 4모드 자동 선택(형광 X선) |
| 최대시료사이즈 | 250(W)×200(D)×0～50(H) mm |
| 장치치수 | 1380(W)×1042(D)×1785(H) mm |
| 중량 | 660 kg |
| 전원/소비전력 | AC200～240 V(50～60 Hz)/1500 VA |
옵션
- 시그날 타워
- 추가 모니터
- 냉각수 순환 장치
