聚焦离子束系统 (FIB/FIB-SEM)
为您介绍聚焦离子束(FIB/FIB-SEM)(聚焦离子束系统、微型采样系统、CAD导航系统 故障分析导航系统)。
高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000
“Ethos”采用日立高新的核心技术--高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜,不但可以在低加速电压下实现高分辨观察,还可以在FIB加工时实现实时观察。
CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获得相应位置的SIM图像。同时,CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此,很容易检查到下层布线的状态,实质上提高了分析的效率,有利于进一步进行修理工作。