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聚焦离子束系统 (FIB/FIB-SEM)

为您介绍聚焦离子束(FIB/FIB-SEM)(聚焦离子束系统、微型采样系统、CAD导航系统 故障分析导航系统)。

高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000

高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000

“Ethos”采用日立高新的核心技术--高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜,不但可以在低加速电压下实现高分辨观察,还可以在FIB加工时实现实时观察。

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高精度实时三维分析FIB-SEM三束系统 NX9000

通过自动重复使用FIB制备截面和进行SEM观察,采集一系列连续截面图像,并重构特定微区的三维结构。

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FIB-SEM三束系统 NX2000

追求理想的TEM样品制备工具 在高科技设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为不可或缺的工具。

CAD导航系统 故障分析导航系统(NASFA)

CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)

该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获得相应位置的SIM图像。同时,CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此,很容易检查到下层布线的状态,实质上提高了分析的效率,有利于进一步进行修理工作。