多角度可変自動測定分光光度計 Agilent Cary 7000
業界最高性能を備えたアジレント社製 Caryシリーズのプロフェッショナルモデル。多角度可変自動測定ユニット（UMS）により、サンプルを着脱することなく、絶対反射率と透過率の両方を一連の操作で測定することができます。さらに、さまざまな入射角度と偏光測定を組み合わせることにより、サンプルの光学特性を網羅的に取得することができます。
日立ハイテクサイエンスでは、日本語のCary WinUV ソフトウェアを提供します。
アジレント・テクノロジー株式会社からの許諾を得て掲載しております（DE44259.0656944444)。
価格：お問い合わせ下さい
取扱会社：株式会社 日立ハイテクサイエンス
特長
Cary 7000
Cary 7000 は、190 ～ 2800 nm の範囲で優れた測光性能を発揮する高性能 UV-Vis -NIR分光光度計です。
多角度可変自動測定ユニット（UMS）により、サンプルを着脱することなく、絶対反射率と透過率の両方を一連の操作で測定することができます。さらに、さまざまな入射角度と偏光測定を組み合わせることにより、サンプルの光学特性を網羅的に取得することができます。
主な特長
- サンプルを移動することなく、一連の操作でサンプルの光学特性の測定が可能
- 検出器や試料の位置を制御しながら拡散反射と拡散透過などを測定
- 大型の試料室により、大きなサイズから小さなサイズまで、様々な種類のサンプルに対応
- サンプルや測定のニーズに適した平行な光を実現、スポットサイズの変更も可能
- 直視型検出方式とシングルベースライン測定方式により、分析時間を大幅に短縮化
- ベースライン取得後、サンプル設置をするだけで複数条件の測定を全て自動で実施
- 10 Abs の測光範囲による高度な分析により、新たな材料の情報を取得可能
- 日本語化されたCary WinUV ソフトウェアのメソッドエディタにより、より簡単にメソッド設定が可能
- Cary WinUV ソフトウェアにより、高度なデータ処理、高速データ解析を実現、多角度のスペクトル情報の把握に有効な 3D グラフィックも搭載
既存の Cary 4000 / 5000 / 6000i ユーザーは、多角度可変自動測定アクセサリ (UMA) を取り付けることで機能を拡張することができます。
Cary 7000
10Absの測光範囲と多角度可変自動測定を両立
Cary 7000 は、190 ～ 2800 nm の範囲で優れた測光性能を発揮する高性能 UV-Vis -NIR分光光度計です。
多角度可変自動測定ユニット（UMS）により、サンプルを着脱することなく、絶対反射率と透過率の両方を一連の操作で測定することができます。さらに、さまざまな入射角度と偏光測定を組み合わせることにより、サンプルの光学特性を網羅的に取得することができます。
直視型の優れた光学設計
Cary 7000 UMS の検出器は、サンプルの直接測光が可能です。 ライトパイプや積分球、ファイバーオプティクスなど介在する光学系がないため、最適な光束と高い S/N 比が実現されます。この光学設計により、これまでの限界を大きく超える測定精度、再現性、生産性が得られます。
独自の Si/InGaAs 検出器技術
Cary 7000で搭載しているSi/InGaAs 検出器は、紫外-可視-近赤外領域の検出器としての大きな利点を提供し、紫外から可視、そして近赤外領域へとシームレスな移行を可能にしています。また、大きな受光角により、独自のワイヤーグリッド偏光子を用いた測定において高いスループットが実現するとともに、高品質でコントラスト比の高い S 偏光と P 偏光が得られます。
マルチモーダル測定
マルチモーダル測定 (合計で 6個)により、サンプルの包括的な光学特性解析を、詳細かつ迅速に行うことができます。
サンプルと検出器を個別に制御および移動させることにより、サンプルを着脱することなく、絶対反射率と透過率の測定を行うことができます。
最新型の高分解能光学エンコーダが、0.02 °単位のきわめて細かな角度制御を可能にし、高い位置精度を提供します。
Cary 7000 UMS は次の測定モードを備えています。
測定例
光学部品、薄膜、コーティングアプリケーション
光学部品、薄膜、コーティングアプリケーション Cary 7000 UMS は光学部品、薄膜、およびコーティングアプリケーションに理想的です。初期設計の最適化から原料の品質管理モニタリング、最終製品の検査まで、幅広い用途にご利用いただけます。
高品質な多層光学コーティング材料の設計・製造には、薄膜原料の光学性能を正確に測定するための信頼性の高いメソッドが必要とされています。Cary 7000 UMS は、測定間にサンプル着脱をすることなく、同一のポイントから透過率および反射率を測定することができます。この結果、さまざまな測定手法を組み合わせて評価をする場合に生じる、わずかな入射角の違いによる測定結果の誤差を心配する必要はありません。
– コーティングの光学特性解析を、これまでにない緻密さと正確さで行えます。サンプルの同一ポイントについての絶対反射率と透過率の測定を角度と偏光状態を変えて行えます。
– 生産性を向上し、分析あたりのコストを削減します。Cary 7000 UMS は、測定対象のデータを自動で収集するため、無人での測定を可能にします。
薄膜の光学特性解析
薄膜の光学特性解析に関する従来のアプローチでは、決まった角度条件で測定を行っていました。複数の角度条件を測定する際は、都度設定を変更するなどの手間が生じていました。
Cary 7000 UMSは、細かな角度制御と自動化により、絶対反射率と透過率の両方を任意の角度で取り込むことができます。その結果、容易に網羅的な角度条件でのデータ取得が可能となり、薄膜設計を高い精度で詳細に評価できるようになりました。
コーティングされたシリコン基板のUV-Vi-NIR領域の絶対反射率測定結果。入射角度は6～86°の範囲を1°単位でコントロールし、P偏光にて測定を行いました。
2D擬似カラー表示では、コーティングの入射角度と波長に対する依存性を視覚化し、反射率が最大または最小となる条件を視覚的に捉えることができます。例えば、1500 nmの反射率が最小となるのは、入射角が70°のときであることが分かります。
この放射状プロットは、研磨もコーティングもされていないシリコンウエハ(125 mm x 125 mm x 0.4 mm)の、波長と入射角に依存した拡散状態を示しています。サンプルは中心(r=0)に示されており、入射光はθ=0° からサンプル対して垂直に入ります。3つの波長(924 nm、1148 nm、1200 nm)についての拡散反射光はそれぞれ観測されていますが、拡散透過光については、924 nmの光はシリコンによって吸収され、2つの波長だけが観測されています。
高遮光性光学フィルタ
高遮光性フィルタは、重要な光学部品として幅広く用いられています。これらのフィルタは、システム性能にとって迷光の仕様が重要となるDNAシーケンサーやPCR、プレートリーダなどの光計測装置、レーザー保護用メガネや溶接用メガネなどの保護用品、カメラやセンサーなどの遮光部で使用されています。
以下に業界標準の「フィルタ追加法」にてテストした10 Absを超える高吸光度測定の結果を示します。このテストでは、広い測光範囲に加え、高い直線性と精度を持つ分光光度計が必要です。この結果より、Cary 7000 UMS は 10 Abs までの広い測光範囲と精度および直線性の高いデータを得られることが示されています。
上図に Cary 7000 を用いて測定した、フィルタA(淡紫)、フィルタB(青)、AとBの重ね合わせ(赤)、AとBのスペクトルを足し合わせ(濃紫)した吸光度スペクトルを示します。この結果より、実際に2枚のフィルタを重ねて測定したスペクトルと、それぞれのスペクトルを足し合わせたスペクトルに高い相関性があり、10Absまでの広い測光範囲と高い直線性が示されています。
ソフトフェア
実際のサンプル測定を考慮したソフトウェア
Cary WinUV ソフトウェアはモジュール設計を採用しているため、それぞれの分析目的に応じてカスタマイズできます。
日本語表示に対応
日立ハイテクサイエンスでは、日本語に対応したWinUV ソフトウェアを提供します。
使いやすい操作性に加え、ユーザーに優しい日本語表示に対応します。
メソッド設定の簡略化
Cary WinUV メソッドエディタは、Cary 7000 UMS の測定角度条件などの自動化メソッドシーケンスのニーズを満たすように設計されています。直感的なインタフェースにより、絶対反射率または透過率測定の設定や、サンプルおよび検出器の正確な配置が可能になります。
高度なデータ処理
スペクトルカリキュレータを使うことにより、加減乗除、対数、平方根関数などの演算処理を行うことができます。また、平均、標準化、補正、最大四次までの導関数、積分、およびクベルカ－ムンク補正の機能も備えています。
レポートも日本語表示
従来、英語で出力されていたレポートも日本語表示に対応しています。
アクセサリ
多角度可変自動測定アクセサリ (UMA)
既存の Cary 4000 / 5000 / 6000i ユーザーは、多角度可変自動測定アクセサリ (UMA) を取り付けソフトウエアアップグレードを行うことにより機能をCary 7000に匹敵する機能性に拡張することができます。
一晩で数百もの UV-Vis-NIR スペクトルを収集することも、光学部品や薄膜の光学特性解析を数分から数時間で行うこともできます。光学系、薄膜、コーティング、太陽電池、ガラスの研究、開発、QA/QC のための包括的なソリューションを実現して、新たな材料分析を可能にします。画期的な多角度可変自動測定アクセサリ (UMA) を Cary 4000 / 5000 / 6000i と組み合わせることにより、Cary 7000 UMS のように今まで不可能であった実験系の構築が可能となり、分析内容の幅も広がることによって、分析時間の短縮とコスト削減が実現されます。
特長
- 固体サンプル測定へのパワフルなアプローチ
- サンプルを移動することなく、一連の操作でサンプルの光学特性の測定が可能
- 検出器や試料の位置を制御しながら拡散反射と拡散透過などを測定
- 大型の試料室により、大きなサイズから小さなサイズまで、様々な種類のサンプルに対応
- サンプルや測定のニーズに適した平行な光を実現、スポットサイズの変更も可能
- 直視型検出方式とシングルベースライン測定方式により、分析時間を大幅に短縮化
- ベースライン取得後、サンプル設置をするだけで複数条件の測定を全て自動で実施
- 日本語化されたCary WinUV ソフトウェアのメソッドエディタにより、より簡単にメソッド設定が可能
- Cary WinUV ソフトウェアにより、高度なデータ処理、高速データ解析を実現、多角度のスペクトル情報の把握に有効な 3D グラフィックも搭載
分光光度計（UV-Vis/NIR）の測定例を紹介します。
「紫外・可視分光光度計で何ができる？」から「分光光度計の仕組み」まで、知っておきたい分光光度計の基礎を紹介します。
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