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下記２つのソリューションに関しては、上部の『カタログ』欄から資料をダウンロードできます

  • ウェハ全面高速膜厚測定＆プロセスフィードバック
  • ウェハ向け真空プラズマ処理装置

その他の当社の装置ラインアップは以下のとおりです。

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