ナノ3D光干渉計測システム VS1800 新機能①【準備】信頼性の向上

レンズフォーカス調整

ナノ3D光干渉計測システムでは、測定前の日常点検として、対物レンズの光路長ずれを確認します。レンズフォーカステスト機能はレンズ内部の光路長のずれ量を数値として算出し、調整量を確認できるサポート機能です。

レンズフォーカス自動調整機能 ALFユニット（追加オプション）

干渉対物レンズの光路長ずれを自動的に調整する機能です。専用工具での手動調整が必要なく、作業者のスキルに依存せずに最適な状態に設定できます。

なぜ光路長ずれが発生するの？

光干渉方式では、干渉対物レンズに内蔵されている参照面（反射ミラー）からの光路長とサンプル面からの光路長が一致したところで干渉が発生します。しかしながら、干渉対物レンズの参照面からの光路長は設置環境の変化（温度変化等）により変動するため、光路長のずれが生じます。このずれが大きい場合、サンプル面と参照面の両方に焦点が合わない状態となります。